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World Intellectual Property Organization
1. (WO2013035386) 多極子測定装置

国際公開番号: WO/2013/035386 国際出願番号: PCT/JP2012/063135
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 23.05.2012
H01J 37/153 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01)
出願人: NAKANO Tomonori[JP/JP]; JP (UsOnly)
URANO Kotoko[JP/JP]; JP (UsOnly)
ITO Hiroyuki[JP/JP]; JP (UsOnly)
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP (AllExceptUS)
発明者: NAKANO Tomonori; JP
URANO Kotoko; JP
ITO Hiroyuki; JP
代理人: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
(JA) 多極子測定装置
要約: front page image
(EN) In order to provide a multipole measurement apparatus that can easily obtain table data for an aberration corrector that corrects the aberrations in a charged particle beam apparatus, the multipole measurement apparatus, which is provided with an optical system (10), a space into which an aberration corrector (6) is to be inserted, and a position detector (7), measures the relationship between the incident position and angle of a primary charged particle beam on the aberration corrector (6) at a plurality of points, the irradiation position upon the position detector (7), and a multipole, in a state of having a multipole field excited and in a state of not having a multipole field excited, so as to extract multipole components contained in the measurement executed in the state of having the multipole field excited.
(FR) De manière à produire un appareil de mesure de multi-pôle qui peut facilement obtenir des données de table pour un correcteur d'aberrations qui corrige les aberrations dans un appareil à faisceau de particules chargées, l'appareil de mesure de multi-pôle selon l'invention, qui comprend un système optique (10), un espace dans lequel un correcteur d'aberrations (6) doit être introduit, et un détecteur de position (7), mesure la relation entre la position et l'angle d'incidence d'un faisceau de particules chargées primaire sur le correcteur d'aberrations (6) en une pluralité de points, la position d'émission sur le détecteur de position (7), et un multi-pôle, dans un état dans lequel un champ multipolaire est excité et dans un état dans lequel un champ multipolaire n'est pas excité, de manière à extraire des composantes multipolaires contenues dans la mesure exécutée dans l'état dans lequel le champ multipolaire est excité.
(JA) 荷電粒子線装置の収差を補正する収差補正器のテーブルデータを容易に取得できる多極子測定装置を提供するために、光学系(10)と、収差補正器(6)が挿入されるスペースと、位置検出器(7)とを備えた多極子測定装置において、複数の点で行った一次荷電粒子線の収差補正器(6)への入射位置および角度と位置検出器(7)上での照射位置と多極子の関係について多極子場を励起した状態および励起しない状態で測定することにより、多極子場を励起した状態に含まれる多極子成分を抽出する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)