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1. (WO2013035335) スパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035335    国際出願番号:    PCT/JP2012/005664
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 06.09.2012
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), C04B 35/00 (2006.01), H01L 21/336 (2006.01), H01L 21/363 (2006.01), H01L 29/786 (2006.01)
出願人: IDEMITSU KOSAN CO.,LTD. [JP/JP]; 1-1, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008321 (JP) (米国を除く全ての指定国).
EBATA, Kazuaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TOMAI, Shigekazu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUZAKI, Shigeo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSURUMA, Yuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: EBATA, Kazuaki; (JP).
TOMAI, Shigekazu; (JP).
MATSUZAKI, Shigeo; (JP).
TSURUMA, Yuki; (JP)
代理人: WATANABE, Kihei; Shibashin Kanda Bldg. 3rd Floor, 26, Kanda Suda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041 (JP)
優先権情報:
2011-193917 06.09.2011 JP
2012-172373 02.08.2012 JP
発明の名称: (EN) SPUTTERING TARGET
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE
(JA) スパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)A sputtering target comprising a sintered object which comprises either indium oxide doped with Ga or indium oxide doped with Al and further contains a metal that has a positive valence of 4 in an amount of 100-1,100 at. ppm, excluding 100 at. ppm, of the sum of the Ga and indium or the sum of the Al and indium, and which has a crystal structure substantially constituted of a bixbyite structure of indium oxide.
(FR)L'invention concerne une cible de pulvérisation cathodique comprenant un objet fritté, lequel comprend soit de l'oxyde d'indium dopé par Ga, soit de l'oxyde d'indium dopé par Al, et contient en outre un métal qui a une valence positive de 4 dans une quantité de 100-1 100 ppm atomiques, à l'exclusion de 100 ppm atomiques, de la somme du Ga et de l'indium ou de la somme de l'Al et de l'indium, et qui a une structure cristalline sensiblement constituée d'une structure bixbyite d'oxyde d'indium.
(JA)Gaをドープした酸化インジウム、又はAlをドープした酸化インジウムを含み、正4価の原子価を示す金属を、Gaとインジウムの合計又はAlとインジウムの合計に対して100原子ppm超1100原子ppm以下含み、結晶構造が、実質的に酸化インジウムのビックスバイト構造からなる焼結体を含むスパッタリングターゲット。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)