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World Intellectual Property Organization
1. (WO2013035220) 荷電粒子線装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/035220    国際出願番号:    PCT/JP2012/003449
国際公開日: 14.03.2013 国際出願日: 28.05.2012
H01J 37/24 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIGETO, Kunji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SATO, Mitsugu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IIZUMI, Noriko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NODA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NISHIMURA, Masako [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WATANABE, Shunya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KONOMI, Mami [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TOMITA, Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAMOCHI, Ryuichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIGETO, Kunji; (JP).
SATO, Mitsugu; (JP).
IIZUMI, Noriko; (JP).
NODA, Hiroyuki; (JP).
NISHIMURA, Masako; (JP).
WATANABE, Shunya; (JP).
KONOMI, Mami; (JP).
TOMITA, Shinichi; (JP).
TAMOCHI, Ryuichiro; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
2011-192273 05.09.2011 JP
(JA) 荷電粒子線装置
要約: front page image
(EN)In recent years, the base of users for charged particle beam apparatuses such as scanning electron microscopes has broadened. All of those users need to acquire the techniques for manual adjustment, but adjusting all parameters to suitable values for observation is extremely difficult. Therefore, sufficiently bringing out the performance of devices is difficult for beginners. The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam apparatus that is provided with a parameter adjustment practice function for anyone to acquire the techniques for easily making manual adjustments. To achieve this purpose, a practice means for focus adjustments and non-point adjustments are provided. This practice means is characterized by control conditions for the focus conditions for an object lens and the X direction non-point corrector and Y direction non-point corrector being set according to user operations, and a practice image corresponding to these control conditions according to the combination of the focus conditions, X direction non-point correction conditions, and Y direction non-point correction conditions that have been set being read and displayed on the screen.
(FR)Au cours des récentes années, la base d'utilisateurs d'appareils à faisceau de particules chargées tels que des microscopes électroniques à balayage s'est élargie. Tous ces utilisateurs doivent acquérir les techniques d'ajustement manuel, mais il est extrêmement difficile d'ajuster tous les paramètres à des valeurs appropriées pour une observation. En conséquence, il est difficile pour des débutants de révéler suffisamment les performances de dispositifs. Le but de la présente invention est de pourvoir à un appareil à faisceau de particules chargées qui est doté d'une fonction d'entraînement à l'ajustement de paramètres permettant à n'importe qui d'acquérir les techniques pour effectuer facilement des ajustements manuels. Pour atteindre ce but, un moyen d'entraînement est utilisé pour des ajustements de focale et des ajustements non ponctuels. Ce moyen d'entraînement est caractérisé en ce que des conditions de commande pour les conditions de focalisation d'une lentille de focalisation et le correcteur non ponctuel de direction X et le correcteur non ponctuel de direction Y sont réglées en fonction d'opérations de l'utilisateur, et une image d'entraînement correspondant à ces conditions de commande conformément à la combinaison des conditions de focalisation, des conditions de correction non ponctuelle de direction X et des conditions de correction non ponctuelle de direction Y qui ont été réglées est lue et affichée sur l'écran.
(JA) 近年、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置はユーザの裾野が広がっている。そのユーザの誰もが手動調整技術を習得することが求められているが、観察のためのパラメータ全てを適切な値に調整することは非常に困難である。このため初心者にとっては装置の性能を十分に発揮させることが難しかった。本発明は誰もが容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習機能を備えた荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。 上記課題を解決するため、フォーカス調整および非点調整の練習手段を設ける。ユーザの操作に応じて対物レンズのフォーカス条件とX方向非点補正器とY方向非点補正器の制御条件を設定し、設定されたフォーカス条件とX方向非点補正条件とY方向非点補正条件の組に応じて、当該制御条件に対応した練習用画像を記憶装置から読み出し、画面に表示することを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)