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1. (WO2013031901) 空間光変調器の検査方法及び装置、並びに露光方法及び装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/031901    国際出願番号:    PCT/JP2012/072025
国際公開日: 07.03.2013 国際出願日: 30.08.2012
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G02B 26/06 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUJIWARA Tomoharu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUJIWARA Tomoharu; (JP)
代理人: OMORI Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2140014 (JP)
優先権情報:
2011-191319 02.09.2011 JP
発明の名称: (EN) METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING SPATIAL LIGHT MODULATOR, AND EXPOSURE METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE D'UN MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE, ET PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 空間光変調器の検査方法及び装置、並びに露光方法及び装置
要約: front page image
(EN)A method for inspecting a spatial light modulator, comprising: performing control so that in a region to be inspected in a mirror element array, mirror elements in a first state in which the amount of phase change with respect to incident light is zero and mirror elements in a second state in which the amount of phase change with respect to incident light is 180° (π) are arranged in a checkerboard pattern; guiding light that has passed through the region to be inspected into a projection optical system having a resolution limit that is coarser than the width of an image from one mirror element, and forming a spatial image; and inspecting the characteristics of the spatial light modulator from the spatial image. It is thereby possible to readily inspect the characteristics of a spatial light modulator having an array of a plurality of optical elements.
(FR)L'invention concerne un procédé de contrôle d'un modulateur spatial de lumière, comportant les étapes consistant à : réaliser une commande telle que, dans une région à contrôler d'une matrice d'éléments de miroir, des éléments de miroir se trouvant dans un premier état où la quantité de variation de phase par rapport à une lumière incidente est nulle et des éléments de miroir se trouvant dans un deuxième état où la quantité de variation de phase par rapport à une lumière incidente est de 180° (π) sont disposés en quinconce ; guider une lumière ayant traversé la région à contrôler jusque dans un système optique de projection caractérisé par une limite de résolution plus grossière que la largeur d'une image provenant d'un seul élément de miroir, et former une image spatiale ; et contrôler les caractéristiques du modulateur spatial de lumière à partir de l'image spatiale. Il est ainsi possible de contrôler aisément les caractéristiques d'un modulateur spatial de lumière doté d'une matrice d'une pluralité d'éléments optiques.
(JA) 空間光変調器の検査方法は、ミラー要素のアレイの検査対象領域で、入射光に対する位相の変化量が0の第1の状態のミラー要素と、入射光に対する位相の変化量が180°(π)の第2の状態のミラー要素とが市松模様状に配列された状態になるように制御し、検査対象領域を通過した光を、一つのミラー要素の像の幅よりも解像限界の粗い投影光学系に導いて空間像を形成し、空間像から空間光変調器の特性を検査する。複数の光学要素のアレイを有する空間光変調器の特性の検査を容易に行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)