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1. (WO2013031811) 音響センサ及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/031811    国際出願番号:    PCT/JP2012/071800
国際公開日: 07.03.2013 国際出願日: 29.08.2012
IPC:
H04R 19/04 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01), H04R 31/00 (2006.01)
出願人: OMRON CORPORATION [JP/JP]; 801, Minamifudodo-cho, Horikawahigashiiru, Shiokoji-dori, Shimogyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6008530 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAGAWA Yusuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TATARA Yoshitaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IIDA Nobuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIMOTO Koichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAMAGUCHI Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANO Hajime [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAGAWA Yusuke; (JP).
TATARA Yoshitaka; (JP).
IIDA Nobuyuki; (JP).
ISHIMOTO Koichi; (JP).
HAMAGUCHI Tsuyoshi; (JP).
KANO Hajime; (JP)
代理人: NAKANO Masayoshi; Ilias Building 3F, 10-2, Nishiiwamoto-cho, Higashikujo, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018005 (JP)
優先権情報:
2011-186833 30.08.2011 JP
発明の名称: (EN) ACOUSTIC SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CAPTEUR ACOUSTIQUE ET PROCÉDÉ POUR SA FABRICATION
(JA) 音響センサ及びその製造方法
要約: front page image
(EN)A cavity (44) is provided in a substrate (42) so as to penetrate from the front surface to the back surface of the substrate. A thin-film diaphragm (43) for sensing acoustic vibration above the substrate (42) is provided over the cavity (44). At least one wall surface of the cavity (44) is configured with: a first inclined surface (47a) between the front surface of the substrate (42) and the center portion of the substrate in the thickness direction, the inclined surface gradually widening toward the outer side of the substrate (42) from the front surface of the substrate (42) toward the center portion; and a second inclined surface (47b) between the center portion and the back surface of the substrate (42), the inclined surface gradually narrowing toward the inner side of the substrate (42) from the center portion toward the back surface of the substrate (42). Furthermore, the width of the back-surface opening of the cavity (44) is smaller than the width of the front-surface opening.
(FR)L'invention concerne un capteur caractérisé en ce qu'une cavité (44) est aménagée dans un substrat (42) de façon à pénétrer de la surface avant à la surface arrière du substrat. Un diaphragme (43) à film mince destiné à détecter des vibrations acoustiques au-dessus du substrat (42) est placé par-dessus la cavité (44). Au moins une surface de paroi de la cavité (44) comporte : une première surface inclinée (47a) entre la surface avant du substrat (42) et la partie centrale du substrat dans la direction de l'épaisseur, la surface inclinée s'élargissant progressivement en direction du côté extérieur du substrat (42) de la surface avant du substrat (42) vers la partie centrale ; et une deuxième surface inclinée (47b) entre la partie centrale et la surface arrière du substrat (42), la surface inclinée rétrécissant progressivement en direction du côté intérieur du substrat (42) de la partie centrale vers la surface arrière du substrat (42). En outre, la largeur de l'ouverture de la cavité (44) côté surface arrière est inférieure à la largeur de l'ouverture côté surface avant.
(JA) 基板42には、その表面から裏面へ貫通するように空洞44を設ける。空洞44の上方において、基板42の上方には音響振動を感知する薄膜のダイアフラム43を設ける。空洞44の少なくとも1つの壁面は、基板42の表面とその厚み方向中間部との間において、基板42の表面から前記中間部へ向かうにつれて次第に基板42の外側へ向かって広がった第1の斜面47aと、前記中間部と基板42の裏面との間において、前記中間部から基板42の裏面へ向かうにつれて次第に基板42の内側へ向かって狭まった第2の斜面47bとで構成される。また、空洞44の裏面開口幅が表面開口幅よりも小さくなっている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)