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1. (WO2013031724) 圧電バルク波装置及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/031724    国際出願番号:    PCT/JP2012/071576
国際公開日: 07.03.2013 国際出願日: 27.08.2012
IPC:
H03H 9/17 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/22 (2013.01), H03H 3/02 (2006.01)
出願人: MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KANDO, Hajime [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KANDO, Hajime; (JP)
代理人: MIYAZAKI & METSUGI; Chuo Odori FN Bldg., 3-8, Tokiwamachi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400028 (JP)
優先権情報:
2011-190342 01.09.2011 JP
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC BULK WAVE DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
(FR) DISPOSITIF PIÉZOÉLECTRIQUE À ONDES DE VOLUME ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 圧電バルク波装置及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided are: a piezoelectric bulk wave device that uses an LiTaO3 thickness shear mode and has little variation in electrical properties caused by variation in electrode film thickness or LiTaO3 thickness; and a production method therefor. The piezoelectric bulk wave device (1) comprises a piezoelectric thin plate (5) comprising LiTaO3 and first and second electrodes (6, 7) disposed so as to come in contact with the piezoelectric thin plate (5); and uses a thickness shear mode for the piezoelectric thin plate (5) comprising LiTaO3. The first and second electrodes (6, 7) comprise a conductor having a specific acoustic impedance greater than the specific acoustic impedance of a transverse wave that propagates the LiTaO3, and the piezoelectric bulk wave device (1) has an electrode thickness/(electrode thickness + LT thickness) of 5%-40%, when the sum of the film thickness of the first and second electrodes (6, 7) is electrode thickness and the thickness of the piezoelectric thin plate (5) comprising LiTaO3 is LT thickness.
(FR)L’invention concerne un dispositif piézo-électrique à ondes de volume qui utilise un mode de cisaillement d'épaisseur d'une couche de LiTaO3 et dont les propriétés électriques présentent une faible variation due à la variation de l'épaisseur du film d'électrode ou de l'épaisseur de la couche de LiTaO3; et son procédé de production. Le dispositif piézo-électrique à ondes de volume (1) comprend une plaque mince piézo-électrique (5) comprenant la couche de LiTaO3 et une première et une seconde électrode (6, 7) disposées de manière à venir au contact de la plaque mince piézo-électrique (5); et utilise un mode de cisaillement d'épaisseur pour la plaque mince piézo-électrique (5) comprenant la couche de LiTaO3 La première et la seconde électrode (6, 7) comprennent un conducteur présentant une impédance acoustique spécifique supérieure à l'impédance acoustique spécifique d'une onde transversale qui se propage dans la couche de LiTaO3; et le dispositif piézoélectrique à ondes de volume (1) présente une épaisseur des électrodes/(épaisseur de l'électrode + épaisseur LT) de 5% à 40%, quand la somme des épaisseurs de film de la première et de la seconde électrode (6, 7) est "épaisseur des électrodes" et l'épaisseur de la plaque mince piézo-électrique (5) comprenant la couche de LiTaO3 est "épaisseur LT".
(JA) LiTaOの厚み滑りモードを利用しており、しかも電極膜厚やLiTaOの厚みのばらつきによる電気的特性のばらつきが少ない、圧電バルク波装置及びその製造方法を提供する。 LiTaOからなる圧電薄板5と、圧電薄板5に接するように設けられた第1,第2の電極6,7とを備え、LiTaOからなる圧電薄板5の厚み滑りモードを利用しており、第1,第2の電極6,7が、LiTaOを伝搬する横波の固有音響インピーダンスよりも大きな固有音響インピーダンスを有する導体からなり、第1及び第2の電極6,7の膜厚の合計を電極厚、LiTaOからなる圧電薄板5の厚みをLT厚としたとき、電極厚/(電極厚+LT厚)が5%以上、40%以下である、圧電バルク波装置1。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)