WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2013030953) プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2013/030953    国際出願番号:    PCT/JP2011/069621
国際公開日: 07.03.2013 国際出願日: 30.08.2011
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/509 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: EMD Corporation [JP/JP]; 2426-1, Mikami, Yasu-shi, Shiga 5202323 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SETSUHARA, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
EBE, Akinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SETSUHARA, Yuichi; (JP).
EBE, Akinori; (JP)
代理人: Kyoto International Patent Law Office; Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ANTENNA FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS USING ANTENNA
(FR) ANTENNE POUR APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA, ET APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA UTILISANT CETTE ANTENNE
(JA) プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)Provided is a high-frequency antenna wherein shielding or attenuation in the intensity of a high-frequency induction field can be inhibited even when materials for a thin film adhere to the surface of the antenna. The high-frequency antenna (10) is provided with: a linear antenna conductor (13); a dielectric protection tube (14) formed around the antenna conductor (13); and deposition shields (15) that are shields formed around the dielectric protection tube (14), that cover the dielectric protection tube (14) at least at one portion thereof along an arbitrary line in the longitudinal direction of the antenna conductor (13), and that has at least one opening (153). Although materials for a thin film adhere to the surfaces of the protection tube and the deposition shields, the adhering materials will be broken off at least at one portion in the longitudinal direction of the antenna conductor. Therefore, a high-frequency induction field can be prevented from being shielded when the materials for a thin film are conductive, and the intensity of the high-frequency induction field can be inhibited from attenuating when the materials for a thin film are not conductive.
(FR)L'invention concerne une antenne haute fréquence dans laquelle le blindage ou l'atténuation de l'intensité d'un champ d'induction haute fréquence peut être inhibé, même lorsque des matériaux destinés à un film mince adhèrent à la surface de l'antenne. L'antenne haute fréquence (10) comprend un conducteur d'antenne linéaire (13), un tube de protection diélectrique (14) formé autour du conducteur d'antenne (13), et des écrans de blindage par dépôt (15) qui sont formés autour du tube de protection diélectrique (14), qui couvrent au moins une portion du tube de protection diélectrique (14), le long d'une ligne arbitraire, dans la direction longitudinale du conducteur d'antenne (13), et qui présentent au moins un orifice (153). Bien que des matériaux destinés à un film mince adhèrent aux surfaces du tube de protection et des écrans de blindage par dépôt, les matériaux adhérants se décomposent au moins au niveau d'une portion, dans la direction longitudinale du conducteur d'antenne. Par conséquent, on peut éviter qu'un champ d'induction haute fréquence ne soit inhibé lorsque les matériaux destinés à un film mince sont conducteurs, et on peut permettre qu'un champ d'induction haute fréquence soit inhibé du point de vue de son atténuation, lorsque les matériaux destinés à un film mince ne sont pas conducteurs.
(JA) 薄膜の材料が表面に付着しても、高周波誘導電界の遮蔽や強度の減衰を抑えることができる高周波アンテナを提供する。高周波アンテナ10は、線状のアンテナ導体13と、アンテナ導体13の周囲に設けられた誘電体製保護管14と、誘電体製保護管14の周囲に設けられたシールドであってアンテナ導体13の長手方向の任意の線上において誘電体製保護管14を少なくとも1箇所覆うと共に少なくとも1個の開口153を有する堆積物シールド15とを備える。薄膜材料は保護管及び堆積物シールドの表面に付着するが、アンテナ導体の長手方向の少なくとも1箇所で途切れる。そのため、薄膜材料が導電性のものである場合には高周波誘導電界が遮蔽されることを防ぐことができ、導電性以外のものの場合には高周波誘導電界の強度が減衰することを抑えることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)