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1. WO2013015349 - 光断層画像測定装置および光断層画像測定システム

公開番号 WO/2013/015349
公開日 31.01.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/068935
国際出願日 26.07.2012
IPC
G01N 21/17 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
CPC
G01N 21/4795
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47Scattering, i.e. diffuse reflection
4795spatially resolved investigating of object in scattering medium
出願人
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 青田 俊道 AOTA Toshimichi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 照井 康 TERUI Yasushi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 青田 俊道 AOTA Toshimichi
  • 照井 康 TERUI Yasushi
代理人
  • 磯野 道造 ISONO Michizo
優先権情報
2011-16350126.07.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) OPTICAL TOMOGRAPHIC IMAGE MEASURING APPARATUS AND OPTICAL TOMOGRAPHIC IMAGE MEASURING SYSTEM
(FR) APPAREIL DE MESURE D'IMAGE TOMOGRAPHIQUE OPTIQUE ET SYSTÈME DE MESURE D'IMAGE TOMOGRAPHIQUE OPTIQUE
(JA) 光断層画像測定装置および光断層画像測定システム
要約
(EN)
This optical tomographic image measuring apparatus (1) and optical tomographic image measuring system address the problem of providing a configuration that is highly sensitive and reduces measurement time. The optical tomographic image measuring apparatus (1) is characterized by having: a light beam splitting means (11) for splitting a light beam incident from a light source (2) into a reference light beam and a signal light beam; a light beam splitting means (34) for splitting a reflected signal light beam reflected from an object (3) to be measured into a plurality of reflected signal light beams; a light beam splitting means (21) for splitting the reference light beam into the same number of reference light beams as the number of reflected signal light beams; optical multiplexing means (41) for generating interference light beams corresponding to the split reference light beams and reflected signal light beams by multiplexing each of the split reference light beams and reflected signal light beams; and an analysis part (53) that acquires a wavelength spectrum for each interference light beam, and performs a Fourier transform on each acquired wavelength spectrum. The optical tomographic image measuring apparatus (1) is further characterized by having a part (101) for changing optical path lengths in which the length of each optical path for the split reference light beams and reflected signal light beams are fixed so as to be different.
(FR)
L'invention porte sur un appareil de mesure d'image tomographique optique (1) et un système de mesure d'image tomographique optique, qui traitant du problème de fourniture d'une configuration qui est hautement sensible et réduit le temps de mesure. L'appareil de mesure d'imagerie tomographique optique (1) est caractérisé en ce qu'il comporte : un moyen de division de faisceau lumineux (11) pour diviser un faisceau lumineux incident à partir d'une source lumineuse (2) en un faisceau lumineux de référence et un faisceau lumineux de signal ; un moyen de division de faisceau lumineux (34) pour diviser un faisceau lumineux de signal réfléchi, réfléchi par un objet (3) à mesurer, en une pluralité de faisceaux lumineux de signal réfléchis ; un moyen de division de faisceau lumineux (21) pour diviser le faisceau lumineux de référence en un nombre de faisceaux lumineux de référence identique au nombre de faisceaux lumineux de signal réfléchis ; un moyen de multiplexage optique (41) pour générer des faisceaux lumineux d'interférence correspondant aux faisceaux lumineux de référence divisés et aux faisceaux lumineux de signal réfléchis par multiplexage de chacun des faisceaux lumineux de référence divisés et des faisceaux lumineux de signal réfléchis ; et une partie d'analyse (53) qui acquiert un spectre de longueur d'onde pour chaque faisceau lumineux d'interférence, et réalise une transformée de Fourier sur chaque spectre de longueur d'onde acquis. L'appareil de mesure d'image tomographique optique (1) est en outre caractérisé en ce qu'il comporte une partie (101) pour changer les longueurs de chemin optique dans laquelle la longueur de chaque chemin optique pour les faisceaux lumineux de référence divisés et les faisceaux lumineux de signal réfléchis sont fixés de manière à être différents.
(JA)
 本発明の光断層画像測定装置(1)および光断層画像測定システムは高感度かつ測定時間が短くなるように構成されることを課題とする。 光源(2)から入射された光を、参照光と、信号光と、に分割する光分割手段(11)と、測定対象物(3)から反射された反射信号光を複数の反射信号光に分割する光分割手段(34)と、参照光を、反射信号光の分割数と同じ数の参照光に分割する光分割手段(21)と、分割された参照光および反射信号光のそれぞれを合波することによって、分割された参照光および反射信号光に対応する干渉光を生成する光合波手段(41)と、波長スペクトルをそれぞれの干渉光から取得し、取得したそれぞれの波長スペクトルをフーリエ変換する解析部(53)と、を有し、分割された参照光または反射信号光におけるそれぞれの光路の長さが、異なるよう固定されている光路長変化部(101)を有することを特徴とする。
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