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1. WO2013014831 - 多結晶シリコンロッドの破砕方法

公開番号 WO/2013/014831
公開日 31.01.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/002691
国際出願日 18.04.2012
IPC
C01B 33/02 2006.01
C化学;冶金
01無機化学
B非金属元素;その化合物
33けい素;その化合物
02けい素
CPC
C01B 33/02
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
02Silicon
出願人
  • 信越化学工業株式会社 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 宮尾 秀一 MIYAO, Shuichi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 岡田 淳一 OKADA, Junichi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 宮尾 秀一 MIYAO, Shuichi
  • 岡田 淳一 OKADA, Junichi
代理人
  • 大野 聖二 OHNO, Seiji
優先権情報
2011-16238425.07.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR FRACTURING POLYCRYSTALLINE SILICON ROD
(FR) PROCÉDÉ DE FRACTURATION D'UNE TIGE DE SILICIUM POLYCRISTALLIN
(JA) 多結晶シリコンロッドの破砕方法
要約
(EN)
In the present invention, an impact force (F1) (first impact force) having a dynamic component in the direction of a center axis (C) is applied to one end of a polycrystalline silicon rod (10). The impact force (striking force) (F1) generates an elastic wave (first elastic wave) within the polycrystalline silicon rod (10), and by means of this elastic wave, the rod is fractured into polycrystalline silicon lumps having a fracture surface (1) splitting the center axis (C) of the polycrystalline silicon rod (10). The polycrystalline silicon rod is an assembly of crystal grains and there are localized variations in strength within the rod, and so the impact force applied acts effectively at the portions of localized weakness in strength and it is possible to achieve fracturing across the entire length even if the polycrystalline silicon rod is long.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de fracturation d'une tige de silicium polycristallin. Selon l'invention, une force d'impact (F1) (première force d'impact) ayant un composant dynamique dans la direction d'un axe central (C) est appliquée à une extrémité d'une tige de silicium polycristallin (10). La force d'impact (force de frappe) (F1) génère une onde élastique (première onde élastique) dans la tige de silicium polycristallin (10) et, au moyen de cette onde élastique, la tige est fracturée en des morceaux de silicium polycristallin ayant une surface de fracture (1) qui fractionne l'axe central (C) de la tige de silicium polycristallin (10). La tige de silicium polycristallin est un ensemble de grains cristallins et il existe des variations localisées de résistance dans la tige. La force d'impact appliquée agit ainsi efficacement au niveau des zones de faiblesse de résistance localisée et il est possible de réaliser une fracturation sur l'ensemble de la longueur même si la tige de silicium polycristallin est longue.
(JA)
 中心軸Cの方向に力学成分を有する衝撃力F(第1の衝撃力)を多結晶シリコンロッド10の一方端部に加える。この衝撃力(打撃の力)Fは、多結晶シリコンロッド10の内部に弾性波(第1の弾性波)を発生させ、この弾性波により、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を有する多結晶シリコン塊に破砕する。多結晶シリコンロッドは結晶粒の集合であり、ロッド内部では局所的に強度のばらつきがあるため、付加された衝撃力が局所的に強度の弱い部分に有効に作用し、長尺の多結晶シリコンロッドであっても全長に渡る破砕を実現させることができる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報