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1. WO2013011854 - ワイヤソー

公開番号 WO/2013/011854
公開日 24.01.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/067445
国際出願日 09.07.2012
IPC
B24B 27/06 2006.01
B処理操作;運輸
24研削;研磨
B研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
27その他の研削機械または装置
06切断用研削機
B28D 5/04 2006.01
B処理操作;運輸
28セメント,粘土,または石材の加工
D石材または石材類似材料の加工
5宝石類,結晶体の精密加工,例.半導体の材料;そのための装置
04回転式以外の工具によるもの,例.往復動工具
H01L 21/304 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
CPC
B23D 57/0061
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
57Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
003Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
0061of devices for guiding or feeding saw wires
出願人
  • コマツNTC 株式会社 KOMATSU NTC LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 島木 英之 SHIMAKI, Hideyuki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 姫野 孝夫 HIMENO, Takao [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 松田 晶寛 MATSUDA, Akihiro [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 島木 英之 SHIMAKI, Hideyuki
  • 姫野 孝夫 HIMENO, Takao
  • 松田 晶寛 MATSUDA, Akihiro
代理人
  • 恩田 博宣 ONDA, Hironori
優先権情報
2011-15687615.07.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) WIRE SAW
(FR) SCIE À FIL
(JA) ワイヤソー
要約
(EN)
The wire saw is provided with: multiple processing rollers (14A, 14B) across which a wire (11) for processing workpieces is installed and circles; and a pair of traversers (16A, 16B) that are each moved back and forth along directions that are parallel to the axis lines of a pair of bobbins (12A, 12B) and which guide the winding and unwinding of the wire (11). The wire (11) is made to travel back and forth following the reciprocating rotation of the processing rollers (14A, 14B) and the bobbins (12A, 12B). Cutting of a workpiece (W) is performed by the wire (11) at a position between the processing rollers (14A, 14B). During reversal of the direction of wire (11) travel, the angles of the wire (11) between the bobbins (12A, 12B) and the traversers (16A, 16B) with respect to the axis lines of the bobbins (12A, 12B) are detected. The movements of the traversers (16A, 16B) are adjusted and the positions of the traversers (16A, 16B) are corrected according to the detection results so that the angles of the wire (11) are set to be 90°.
(FR)
L'invention concerne une scie à fil possédant : de multiples rouleaux de traitement (14A, 14B) sur lesquels un fil (11) destiné à traiter des pièces est monté et circule ; et une paire de guides transversaux (16A, 16B) qui sont entraînés chacun en va-et-vient selon des directions qui sont parallèles aux lignes d'axe d'une paire de bobines (12A, 12B) et qui guident l'enroulement et le déroulement du fil (11). Le fil (11) est entraîné dans les deux sens en suivant la rotation alternative des rouleaux de traitement (14A, 14B) et des bobines (12A, 12B). La coupe d'une pièce (W) est exécutée par le fil (11) dans une position située entre les rouleaux de traitement (14A, 14B). Pendant le renversement du sens du défilement du fil (11), les angles du fil (11) compris entre les bobines (12A, 12B) et les guides transversaux (16A, 16B) par rapport aux lignes d'axe des bobines (12A, 12B) sont détectés. Les mouvements des guides transversaux (16A, 16B) sont ajustés et les positions des guides transversaux (16A, 16B) sont corrigées en fonction des résultats de la détection de sorte que les angles du fil (11) soient réglés sur 90°.
(JA)
ワーク加工用のワイヤ(11)が架設状態で周回される複数の加工用ローラ(14A,14B)と、一対のボビン(12A,12B)の軸線と平行な方向に沿ってそれぞれ往復動されて、ワイヤ(11)の巻き取り及び繰り出しを案内する一対のトラバーサ(16A,16B)とを備える。加工用ローラ(14A,14B)及びボビン(12A,12B)の往復回転にともなってワイヤ(11)が往復走行されて、加工用ローラ(14A,14B)の間の位置においてワイヤ(11)によりワーク(W)に切断加工が施される。ワイヤ(11)の走行方向の反転時において、ボビン(12A,12B)の軸線に対するボビン(12A,12B)とトラバーサ(16A,16B)との間におけるワイヤ(11)の角度が検出される。その検出結果に応じてワイヤ(11)の角度が90度に設定されるように、トラバーサ(16A,16B)が移動調整され、トラバーサ(16A,16B)の位置補正が行なわれる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報