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1. WO2013008759 - 加圧部用固定具を備えた流体圧インプリント装置

公開番号 WO/2013/008759
公開日 17.01.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/067386
国際出願日 06.07.2012
IPC
B29C 59/02 2006.01
B処理操作;運輸
29プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
Cプラスチックの成形または接合;他に分類されない可塑状態の材料の成形;成形品の後処理,例.補修
59表面成形,例.エンボス;そのための装置
02機械的手段,例.プレス,によるもの
G11B 5/84 2006.01
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
5記録担体の磁化または減磁による記録;磁気的手段による再生;そのための記録担体
84記録担体の製造に特に適合する方法または装置
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
CPC
B29C 59/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
59Surface shaping ; of articles; , e.g. embossing; Apparatus therefor
02by mechanical means, e.g. pressing
G11B 5/855
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
855Coating only part of a support with a magnetic layer
出願人
  • SCIVAX株式会社 SCIVAX CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 河口宏輔 KAWAGUCHI Hirosuke [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 田村裕宣 TAMURA Hironobu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 田中覚 TANAKA Satoru [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 河口宏輔 KAWAGUCHI Hirosuke
  • 田村裕宣 TAMURA Hironobu
  • 田中覚 TANAKA Satoru
代理人
  • 奥田律次 OKUDA Noritsugu
優先権情報
2011-15301911.07.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) FLUID PRESSURE IMPRINTING DEVICE PROVIDED WITH PRESSURIZATION UNIT SECURING TOOL
(FR) DISPOSITIF D'IMPRESSION DE PRESSION DE FLUIDE ÉQUIPÉ D'UN OUTIL DE FIXATION D'UNITÉ DE MISE SOUS PRESSION
(JA) 加圧部用固定具を備えた流体圧インプリント装置
要約
(EN)
Provided is an imprinting device capable using a small opening/closing means even if a transfer area is enlarged. The imprinting device is used to transfer a molding pattern of a die to an object to be molded, namely, to transfer a molding pattern of a die (100) to an object to be molded (200), and is constituted by: a pressurization unit (5) comprising a pressurization chamber (51) for applying fluid pressure to the die (100) and the object to be molded (200); a stage (2) for supporting the die (100) and the object to be molded (200) which have received the pressure from the pressurization unit (5); a pressurization means (6) for adjusting the pressure of the fluid in the pressurization chamber (51); an opening/closing means (8) for moving the pressurization unit (5) and the stage (2) relative to each other; and a securing tool (1) for securing the pressurization unit (5) and the stage (2) in order to prevent or suppress the force generated in the pressurization unit (5) from acting on the opening/closing means (8).
(FR)
La présente invention a trait à un dispositif d'impression qui est en mesure d'utiliser un moyen d'ouverture/de fermeture de petite taille y compris si une zone de transfert est agrandie. Le dispositif d'impression est utilisé de manière à transférer un motif de moulage d'une matrice sur un objet devant être moulé, à savoir, de manière à transférer un motif de moulage d'une matrice (100) sur un objet devant être moulé (200) et ledit dispositif d'impression est constitué : d'une unité de mise sous pression (5) qui comprend une chambre de mise sous pression (51) permettant d'appliquer une pression de fluide à la matrice (100) et à l'objet devant être moulé (200) ; d'un étage (2) permettant de supporter la matrice (100) et l'objet devant être moulé (200) qui ont été mis sous pression par l'unité de mise sous pression (5) ; d'un moyen de mise sous pression (6) permettant de régler la pression du fluide dans la chambre de mise sous pression (51) ; d'un moyen d'ouverture/de fermeture (8) permettant de déplacer l'unité de mise sous pression (5) et l'étage (2) l'un par rapport à l'autre ; et d'un outil de fixation (1) permettant de fixer l'unité de mise sous pression (5) et l'étage (2) afin d'empêcher que la force produite dans l'unité de mise sous pression (5) n'agisse sur le moyen d'ouverture/de fermeture (8) ou de supprimer cette force.
(JA)
 転写面積が拡大しても、小型の開閉手段を用いることができるインプリント装置を提供する。型の成型パターンを被成形物に転写するためのインプリント装置であって、型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのものであって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部5と、加圧部5の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ2と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段6と、加圧部5とステージ2を相対的に移動するための開閉手段8と、加圧部5で生じる力が開閉手段8に加わるのを防止又は抑制するために、加圧部5とステージ2を固定する固定具1と、で構成する。
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