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1. WO2013008263 - 物理量センサおよび物理量の検出方法

公開番号 WO/2013/008263
公開日 17.01.2013
国際出願番号 PCT/JP2011/003918
国際出願日 08.07.2011
IPC
G01P 15/125 2006.01
G物理学
01測定;試験
P直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
15加速度の測定,減速度の測定;衝撃,すなわち加速度の急激な変化,の測定
02慣性力の利用によるもの
08電気値または磁気値への変換を伴うもの
125容量型ピックアップによるもの
B81B 3/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G01C 19/56 2012.01
G物理学
01測定;試験
C距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
G01P 15/18 2013.01
G物理学
01測定;試験
P直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
15加速度の測定,減速度の測定;衝撃,すなわち加速度の急激な変化,の測定
18二次元またはそれ以上の次元において測定をするもの
CPC
G01C 19/5776
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5776Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
G01P 15/125
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
125by capacitive pick-up
G01P 15/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
18in two or more dimensions
出願人
  • 株式会社日立製作所 HITACHI, LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 前田 大輔 MAEDA, Daisuke [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 大島 俊 OSHIMA, Takashi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 中川 樹生 NAKAGAWA, Tatsuo [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 礒部 敦 ISOBE, Atsushi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 前田 大輔 MAEDA, Daisuke
  • 大島 俊 OSHIMA, Takashi
  • 中川 樹生 NAKAGAWA, Tatsuo
  • 礒部 敦 ISOBE, Atsushi
代理人
  • 井上 学 INOUE, Manabu
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PHYSICAL QUANTITY SENSOR AND PHYSICAL QUANTITY DETECTION METHOD
(FR) CAPTEUR ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'UNE QUANTITÉ PHYSIQUE
(JA) 物理量センサおよび物理量の検出方法
要約
(EN)
The purpose of the present invention is to, in a physical quantity sensor having a sensor configuration with a plurality axes, obtain, with higher accuracy or at lower cost, a configuration in which a conversion unit and the like are shared among the plurality of axes. To achieve this purpose, the physical quantity sensor employs the following configuration. That is, voltages encoded by codes orthogonal to each other are applied to a plurality of detection elements (5) that respond to different physical quantities, and the output voltages from the detection elements are digitized by an identical conversion unit (10). Subsequently, a plurality of decoding units (9) decode the digitized signals by the codes corresponding to the respective detection elements.
(FR)
L'objet de la présente invention, dans un capteur de quantité physique possédant une configuration de capteur dotée de plusieurs axes, consiste à obtenir, avec une plus grande précision ou à un coût moindre, une configuration dans laquelle une unité de conversion et analogues sont partagés entre la pluralité d'axes. Dans ce but, le capteur de quantité physique utilise la configuration suivante. A savoir, des tensions codées par des codes perpendiculaires entre eux sont appliquées à une pluralité d'éléments de détection (5) qui répondent à différentes quantités physiques, et les tensions de sortie provenant des éléments de détection sont numérisées par une unité de conversion identique (10). Par la suite, une pluralité d'unités de décodage (9) décode les signaux numérisés par les codes correspondant aux éléments de détection respectifs.
(JA)
 複数軸のセンサ構成を有する物理量センサにおいて変換部等を複数軸間で束ねる構成を、より高精度または低コストに実現することを目的とする。この目的を達成するため、物理量センサを以下の構成とする。 すなわち、異なる物理量に応答する複数の検出エレメント(5)に、それぞれ互いに直交する符号によって符号化された電圧を印加し、当該複数の検出エレメントからの出力電圧を、同一の変換部(10)によってデジタル化する。その後、複数の復号部(9)において、デジタル化された信号を、それぞれの検出エレメントに対応する符号によって復号化する。
他の公開
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