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1. WO2013002180 - 隔膜気圧計

公開番号 WO/2013/002180
公開日 03.01.2013
国際出願番号 PCT/JP2012/066159
国際出願日 25.06.2012
IPC
G01L 9/12 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
12容量の変化を利用するもの
G01L 9/04 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
02オーム抵抗の,例.ポテンショメータの,変化を利用するもの
04抵抗ストレンゲージを使用するもの
G01L 21/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
21真空計
G01L 21/14 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
21真空計
10被測圧媒体の熱伝導率の変化の測定によるもの
14熱電対を用いるもの
CPC
G01L 21/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
10by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
14using thermocouples
G01L 27/002
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
27Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
002Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
G01L 9/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
02by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, ; , i.e. electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
04of resistance-strain gauges
G01L 9/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
12by making use of variations in capacitance ; , i.e. electric circuits therefor
出願人
  • 株式会社MDイノベーションズ MD INNOVATIONS KK [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 株式会社ピュアロンジャパン PURERON JAPAN CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 木村 光照 KIMURA, Mitsuteru [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 石原 聖司 ISHIHARA, Seiji [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 木村 光照 KIMURA, Mitsuteru
  • 石原 聖司 ISHIHARA, Seiji
代理人
  • 福森 久夫 FUKUMORI, Hisao
優先権情報
2011-14549530.06.2011JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DIAPHRAGM BAROMETER
(FR) BAROMÈTRE À MEMBRANE
(JA) 隔膜気圧計
要約
(EN)
In order to basically solve the problem of the time-dependent change of a standard atmospheric pressure including a vacuum in a standard pressure chamber of a diaphragm barometer, provided is a diaphragm barometer in which even if the atmospheric pressure in a standard pressure chamber of the diaphragm barometer fluctuates due to, for example, the time-dependent change, a standard atmospheric pressure in the standard pressure chamber is measured and can be calibrated. In the diaphragm barometer having a standard pressure chamber, a heat-conduction-type barometric sensor is equipped in the standard pressure chamber, and the atmospheric pressure in the standard pressure chamber is measured constantly or as necessary to use the measured atmospheric pressure as a standard atmospheric pressure. The heat-conduction-type barometric sensor uses a silicon substrate and includes an absolute temperature sensor. The atmospheric pressure in the standard pressure chamber can also be adjusted to around a desired atmospheric pressure.
(FR)
Dans le but de résoudre basiquement le problème de la modification dépendante du temps d'une pression atmosphérique standard comprenant un vide dans une chambre de pression standard d'un baromètre à membrane, la présente invention concerne un baromètre à membrane dans lequel, même si la pression atmosphérique dans une chambre à pression standard du baromètre à diaphragme fluctue en raison, par exemple, d'une modification dépendante du temps, une pression atmosphérique standard de la chambre de pression standard est mesurée et peut être étalonnée. Dans le baromètre à diaphragme comportant une chambre à pression standard, un capteur barométrique du type à thermoconduction est installé dans la chambre de pression standard, et la pression atmosphérique de la chambre de pression standard est mesurée en permanence ou selon le besoin afin d'utiliser la pression atmosphérique mesurée en tant que pression atmosphérique standard. Le capteur barométrique du type à thermoconduction utilise un substrat en silicium et comprend un capteur de température absolue. La pression atmosphérique dans la chambre de pression standard peut également être ajustée pour approcher la pression atmosphérique souhaitée.
(JA)
 隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。 標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。
他の公開
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