(EN) [Problem] To enable the satisfactory correction of aberrations generated when performing focus adjustment in a projection optical system. [Solution] A first optical system (K1) constituted of a plurality of lenses and a second optical system (K2) consisting of one reflective mirror comprising a convex non spherical surface are provided, in order from the reduction side. All optical surfaces constituting the first optical system (K1) and the second optical system (K2) are formed so as to have rotational symmetry around one common axis. Focus adjustment is performed by independently moving each of two lens groups (Gs, Gk) of the first optical system (K1) along a common axis (Z1). Furthermore, from the two lens groups (Gs, Gk), the group of lenses (Gs) is placed on the reduction side and a lens in which the convex surface faces the magnification side is used as the lens (La) that is placed most on the magnification side of the lens group(Gs), therefore, an image formed on a conjugate plane (Gps) of the reduction side is magnified and projected on a conjugate plane (Gpk) on the magnification side.
(FR) L'objectif de cette invention est de pouvoir corriger de façon satisfaisante les aberrations apparaissant lors du réglage de la mise au point dans un système optique de projection. Dans ce but sont disposés, dans l'ordre à partir du côté réduction, un premier système optique (K1) constitué de plusieurs lentilles, et un second système optique (K2) constitué d'un miroir réfléchissant de surface convexe non sphérique. Toutes les surfaces optiques constituant le premier système optique (K1) et le second système optique (K2) sont formées de façon à être en symétrie de rotation autour d'un axe commun. Le réglage de la mise au point s'effectue par déplacement individuel, en suivant un axe commun (Z1), de chacun de deux groupes de lentilles (Gs) et (Gk) faisant partie du premier système optique (K1). En outre, parmi les groupes de lentilles (Gs) et (Gk), le groupe de lentilles (Gs) est situé côté réduction, et la lentille (La) située au maximum côté agrandissement dans le groupe de lentille (Gs) est dirigée vers la surface convexe côté agrandissement; en conséquence, une image formée sur un plan conjugué (Cps) côté réduction est projetée par agrandissement sur un plan conjugué (Cpk) côté agrandissement.
(JA) 【課題】投写光学系において、フォーカス調節時の諸収差の発生を良好に補正できるようにする。 【解決手段】縮小側から順に、複数のレンズで構成された第1光学系(K1)、非球面形状をなす凸面からなる1枚の反射ミラーで構成された第2光学系(K2)を配設し、第1光学系(K1)および第2光学系(K2)を構成する全ての光学面を、1つの共通の軸の周りに回転対称な形状をなすように形成し、第1光学系(K1)中の2つのレンズ群(Gs)、(Gk)それぞれを共通の軸(Z1)に沿って個別に移動させてフォーカス調節が行なわれるように構成し、さらに、2つのレンズ群(Gs)、(Gk)中の縮小側に配置されたレンズ群(Gs)のうち最も拡大側に配されるレンズ(La)を拡大側に凸面を向けたレンズとし、縮小側の共役面(Cps)に形成された画像を拡大側の共役面(Cpk)に拡大投写する。