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1. (WO2012011372) 蛍石
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2012/011372 国際出願番号: PCT/JP2011/065025
国際公開日: 26.01.2012 国際出願日: 30.06.2011
IPC:
C30B 29/12 (2006.01) ,C01F 11/22 (2006.01) ,G02B 1/02 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
C 化学;冶金
30
結晶成長
B
単結晶成長;共晶物質の一方向固化または共析晶物質の一方向析出;物質のゾーンメルティングによる精製;特定構造を有する均質多結晶物質の製造;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質の後処理;そのための装置
29
材料または形状によって特徴づけられた単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質
10
無機化合物または組成物
12
ハロゲン化物
C 化学;冶金
01
無機化学
F
金属ベリリウム,マグネシウム,アルミニウム,カルシウム,ストロンチウム,バリウム,ラジウム,トリウム化合物または希土類金属化合物
11
カルシウム,ストロンチウム又はバリウム化合物
20
ハロゲン化物
22
ふっ化物
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
1
使用物質によって特徴づけられた光学要素;光学要素のための光学的コーティング
02
結晶,例.岩塩,半導体,で作られたもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
日本結晶光学株式会社 Nihon Kessho Kogaku Co.,Ltd. [JP/JP]; 群馬県館林市野辺町810-5 810-5, Nobe-cho, Tatebayashi-City, Gunma 3740047, JP (AllExceptUS)
山崎 貴史 YAMAZAKI, Takafumi [JP/JP]; JP (UsOnly)
城 勇介 SHIRO, Yusuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
山崎 貴史 YAMAZAKI, Takafumi; JP
城 勇介 SHIRO, Yusuke; JP
代理人:
特許業務法人竹内・市澤国際特許事務所 TAKEUCHI, ICHIZAWA & ASSOCIATES; 東京都港区赤坂2丁目19番8号 赤坂2丁目アネックス6階 6F., Akasaka 2-chome Annex, 19-8, Akasaka 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1070052, JP
優先権情報:
2010-16480722.07.2010JP
発明の名称: (EN) FLUORITE
(FR) FLUORINE
(JA) 蛍石
要約:
(EN) Disclosed is a fluorite with even greater laser durability than conventional fluorites. Specifically disclosed is a fluorite with a standard deviation for the area of a Voronoi region in a diagram wherein the etch pit distribution of a surface (111) is Voronoi-segmented is 6,000µm2 or less, or the standard deviation of the distance of a Delaunay side in a diagram wherein the etch pit distribution of a surface (111) is Delaunay-segmented is 80 µm or less.
(FR) L'invention concerne une fluorine présentant une durabilité au laser encore plus grande que les fluorines classiques. L'invention concerne spécifiquement une fluorine présentant un écart type pour l'aire d'une région de Voronoi dans un diagramme où la distribution des piqûres de corrosion d'une surface (111) est segmentée selon Voronoi de 6 000 µm2 ou moins, ou un écart type de la distance d'un côté de Delaunay dans un diagramme où la distribution des piqûres de corrosion d'une surface (111) est segmentée selon Delaunay de 80 µm ou moins.
(JA)  従来の蛍石に比べてレーザ耐久性がより一層優れた蛍石を提供する。 (111)面のエッチピットの分布をVoronoi分割した図形におけるVoronoi領域の面積の標準偏差が6000μm以下であるか、或いは、(111)面のエッチピットの分布をDelaunay分割した図形におけるDelaunay辺の距離の標準偏差が80μm以下である蛍石を提案する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JP2013067560US20130115425JP2013079193EP2610373EP2708921US20140099471
JPWO2012011372