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1. (WO2012011149) 電力導入装置及び電力導入装置を用いた真空処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2012/011149 国際出願番号: PCT/JP2010/004676
国際公開日: 26.01.2012 国際出願日: 21.07.2010
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
キヤノンアネルバ株式会社 CANON ANELVA CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550, JP (AllExceptUS)
杉恭輔 SUGI, Kyosuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
杉恭輔 SUGI, Kyosuke; JP
代理人:
大塚康徳 OHTSUKA, Yasunori; 東京都千代田区紀尾井町3番6号 紀尾井町パークビル7F 7th Fl., Kioicho Park Bldg., 3-6, Kioicho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020094, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) POWER INPUT DEVICE AND VACUUM PROCESSING APPARATUS USING POWER INPUT DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE ET APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE UTILISANT LEDIT DISPOSITIF
(JA) 電力導入装置及び電力導入装置を用いた真空処理装置
要約:
(EN) Disclosed is a power input mechanism which comprises: a first fixed conductive member; a second fixed conductive member; a fixed insulating member that is affixed to a case and insulates between the first fixed conductive member and the second fixed conductive member; a first rotary conductive member; a second rotary conductive member; a rotary insulating member that is affixed to a supporting column and insulates between the first rotary conductive member and the second rotary conductive member; a first power input member that supplies a first voltage to a substrate holder via the first rotary conductive member and the first fixed conductive member; and a second power input member that supplies a second voltage to the substrate holder via the second rotary conductive member and the second fixed conductive member.
(FR) L'invention concerne un mécanisme d'alimentation électrique qui comprend : un premier élément conducteur fixe; un deuxième élément conducteur fixe; un élément isolant fixe qui est attaché à un boîtier et isole entre le premier élément conducteur fixe et le deuxième élément conducteur fixe; un premier élément conducteur rotatif; un deuxième élément conducteur rotatif; un élément isolant rotatif qui est attaché à une colonne de support et isole entre le premier élément conducteur rotatif et le deuxième élément conducteur rotatif; un premier élément d'alimentation électrique qui fournit une première tension à un porte-substrat par l'intermédiaire du premier élément conducteur rotatif et du premier élément conducteur fixe; et un deuxième élément d'alimentation électrique qui fournit une deuxième tension au porte-substrat par l'intermédiaire du deuxième élément conducteur rotatif et du deuxième élément conducteur fixe.
(JA)  電力導入機構は、第1固定導電性部材と、第2固定導電性部材と、第1固定導電性部材と第2固定導電性部材との間を絶縁し筐体に固定された固定絶縁性部材と、第1回転導電性部材と、第2回転導電性部材と、第1回転導電性部材と第2回転導電性部材との間を絶縁し、支柱に固定された回転絶縁性部材と、第1回転導電性部材および第1固定導電性部材を介して基板ホルダに第1の電圧を供給する第1電力導入部材と、第2回転導電性部材および第2固定導電性部材を介して基板ホルダに第2の電圧を供給する第2電力導入部材と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2012011149