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1. (WO2012008155) シール機構、搬送装置及びシール装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2012/008155 国際出願番号: PCT/JP2011/004013
国際公開日: 19.01.2012 国際出願日: 13.07.2011
IPC:
F16J 15/32 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
J
ピストン;シリンダ;圧力容器一般;密封装置
15
密封装置
16
相対的に運動している表面間に設けられたもの
32
弾性密封リップをもつもの
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP (AllExceptUS)
吉野 孝広 YOSHINO, Takahiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
中尾 裕利 NAKAO, Hirotoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
竹永 勝成 TAKENAGA, Katsunari [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
吉野 孝広 YOSHINO, Takahiro; JP
中尾 裕利 NAKAO, Hirotoshi; JP
竹永 勝成 TAKENAGA, Katsunari; JP
代理人:
大森 純一 OMORI, Junichi; 東京都港区赤坂7-5-47 U&M赤坂ビル2F 2nd Floor U&M Akasaka Bldg., 7-5-47 Akasaka, Minato-ku, Tokyo 1070052, JP
優先権情報:
2010-16168316.07.2010JP
発明の名称: (EN) SEALING MECHANISM, CONVEYANCE DEVICE AND SEALING DEVICE
(FR) MÉCANISME D'ÉTANCHÉITÉ, DISPOSITIF DE TRANSPORT ET DISPOSITIF D'ÉTANCHÉITÉ
(JA) シール機構、搬送装置及びシール装置
要約:
(EN) By increasing the life-span of a seal member, the need to take a device apart is eliminated, thereby reducing cost, time and labour on the part of an operator, and suppressing wasteful energy consumption of energy of a power source can. A seal member (10) comprises: an outer circumference side O-ring (11) provided on the outer circumference side; an inner circumference side O-ring (12) provided on the inner circumference side, and a leaf spring (13) which is connected between the O-rings, and which can displace the relative positions of the outer circumference side O-ring (11) and the inner circumference side O-ring (12). When the region to the upper side of the seal member (10) is depressurized to a vacuum state, the seal member (10) is pushed upward by the atmospheric pressure of the region to the lower side of the seal member (10). Thus, the inner circumference side O-ring (12) is pushed against the lower surface of a flange (3a). By using the disclosed sealing mechanism (100), even if the inner circumference side O-ring (12) becomes worn, said inner circumference side O-ring (12) is impacted by differential pressure, and thus contact force against the flange (3a) of a rotating shaft (3) can be maintained.
(FR) En augmentant la durée de vie d'un élément de joint, il n'est plus nécessaire de prendre un dispositif séparé, les coûts, le temps consacré et la main-d'œuvre peuvent être réduits du côté de l'opérateur et la consommation d'énergie gaspillée par une source de force d'entraînement peut être supprimée. Un élément de joint (10) comprend : un joint torique du côté circonférentiel externe (11) prévu sur le côté circonférentiel externe; un joint torique de côté circonférentiel interne (12) prévu sur le côté circonférentiel interne et un ressort plat (13) qui est raccordé entre les joints toriques et qui peut déplacer les positions relatives du joint torique de côté circonférentiel externe (11) et du joint torique du côté circonférentiel interne (12). Lorsque la région du côté supérieur de l'élément de joint (10) est décompressée dans un état de vide, l'élément de joint (10) est poussé vers le haut par la pression atmosphérique de la région jusqu'au côté inférieur de l'élément de joint (10). Ainsi, le joint torique du côté circonférentiel interne (12) est poussé contre la surface inférieure d'une bride (3a). En utilisant le mécanisme d'étanchéité (100) de la présente invention, même si le joint torique du côté circonférentiel interne (12) est usé, ledit joint torique du côté circonférentiel interne (12) est heurté par la pression différentielle et ainsi la force de contact contre la bride (3a) d'une tige de rotation (3) peut être maintenue.
(JA) 【課題】シール部材の長寿命化を図ることで、装置の分解を不要とし、作業者による労力、時間及びコストを減らすことができ、また、動力源の無駄なエネルギーの消費を抑制することができる技術を提供すること。 【解決手段】シール部材10は、外周側に設けられた外周側Oリング11と、内周側に設けられた内周側Oリング12と、これらの間に接続され、これら外周側Oリング11及び内周側Oリング12の相対位置を変位させることが可能な板バネ13とを有する。シール部材10より上側の領域が減圧され真空状態になると、シール部材10より下側の領域の大気圧によりシール部材10が上方へ押される。これにより、内周側Oリング12はフランジ3aの下面へ押し付けられる。シール機構100の使用によって、内周側Oリング12が磨耗しても、内周側Oリング12が差圧力を受けるので、回転軸3のフランジ3aへの接触力を維持することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
Also published as:
JPWO2012008155