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1. (WO2012004976) 硬化膜形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2012/004976 国際出願番号: PCT/JP2011/003822
国際公開日: 12.01.2012 国際出願日: 05.07.2011
IPC:
G03F 7/30 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
26
感光材料の処理;そのための装置
30
液体手段を用いる画像様除去
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
住友ベークライト株式会社 SUMITOMO BAKELITE CO., LTD. [JP/JP]; 東京都品川区東品川2丁目5番8号 5-8, Higashi-Shinagawa 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1400002, JP (AllExceptUS)
堀井 誠 HORII, Makoto [JP/JP]; JP (UsOnly)
田中 裕馬 TANAKA, Yuma [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
堀井 誠 HORII, Makoto; JP
田中 裕馬 TANAKA, Yuma; JP
代理人:
速水 進治 HAYAMI, Shinji; 東京都品川区西五反田7-9-2 五反田TGビル9階 Gotanda TG Bldg. 9F, 9-2, Nishi-Gotanda 7-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031, JP
優先権情報:
2010-15627409.07.2010JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMING CURED FILM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM DURCI
(JA) 硬化膜形成方法
要約:
(EN) Disclosed is a method for forming a cured film of a positive photosensitive resin composition on a supporting body, which comprises: a coating step wherein the positive photosensitive resin composition is applied to the supporting body; an exposure step wherein the positive photosensitive resin composition is exposed to selective irradiation of actinic rays; a developing step wherein the exposed portion of the positive photosensitive resin composition is developed by an alkali developer liquid; a cleaning step wherein the developer liquid is cleaned with a cleaning liquid and the exposed portion of the positive photosensitive resin composition is removed; and a curing step wherein a cured film is formed by heating the positive photosensitive resin composition. The method for forming a cured film of a positive photosensitive resin composition is characterized in that the cleaning step comprises: a first cleaning step wherein the cleaning liquid is supplied while rotating the supporting body at a circumferential velocity of 0.53 m/s or less; and a second cleaning step wherein the cleaning liquid is supplied while rotating the supporting body at a circumferential velocity higher than that in the first cleaning step.
(FR) La présente invention concerne un procédé permettant de former, sur un corps support, un film durci fait d'une composition de résine photosensible positive. Ce procédé comporte plusieurs étapes. Une étape de revêtement consistera à appliquer sur le corps support une composition de résine photosensible positive. Une étape d'exposition consistera à exposer à l'irradiation sélective de rayons actiniques la composition de résine photosensible positive. Une étape de révélation consistera à utiliser un révélateur liquide alcalin pour révéler la partie exposée de la composition de résine photosensible positive. Une étape de rinçage consistera à utiliser un liquide de rinçage pour rincer le révélateur liquide et éliminer de la partie exposée la composition de résine photosensible positive. Enfin, une étape de durcissement consistera à chauffer la composition de résine photosensible positive de façon à former le film durci. Le procédé de formation d'un film durci fait d'une composition de résine photosensible positive est caractérisé en ce que l'étape de rinçage comprend deux opérations. La première opération du rinçage consiste à faire arriver le liquide de rinçage pendant la rotation du corps support à une vitesse de la périphérie n'excédant pas 0,53 m/s. La seconde étape du rinçage consiste à faire arriver le liquide de rinçage pendant la rotation du corps support à une vitesse de la périphérie supérieure à celle de la première étape de rinçage.
(JA)  支持体にポジ型感光性樹脂組成物の硬化膜を形成する方法であって、前記支持体に前記ポジ型感光性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、前記ポジ型感光性樹脂組成物に対し、化学線を選択的に照射して露光する露光工程と、前記ポジ型感光性樹脂組成物の露光部をアルカリ現像液にて現像する現像工程と、前記現像液を洗浄液にて洗浄するとともに、前記ポジ型感光性樹脂組成物の露光部を除去する洗浄工程と、前記ポジ型感光性樹脂組成物を加熱して、硬化膜を形成する硬化工程とを有し、前記洗浄工程は、前記支持体を周速度0.53m/s以下で回転させながら前記洗浄液を供給する第一の洗浄工程と、前記第一の洗浄工程よりも早い周速度で前記支持体を回転させながら前記洗浄液を供給する第二の洗浄工程とを含むポジ型感光性樹脂組成物の硬化膜形成方法を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20130108967CN102985880JPWO2012004976KR1020130125751