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1. (WO2012002478) 反応種供給装置および表面等処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2012/002478 国際出願番号: PCT/JP2011/065007
国際公開日: 05.01.2012 国際出願日: 30.06.2011
IPC:
H05H 1/24 (2006.01) ,B01J 19/08 (2006.01) ,B08B 7/00 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
B 処理操作;運輸
01
物理的または化学的方法または装置一般
J
化学的または物理的方法,例.触媒,コロイド化学;それらの関連装置
19
化学的,物理的,または物理化学的プロセス一般;それらに関連した装置
08
電気または波動エネルギーあるいは粒子線放射を直接適用したプロセス;そのための装置
B 処理操作;運輸
08
清掃
B
清掃一般;汚れ防止一般
7
このサブクラスの単一のグループあるいは他の単一のサブクラスに分類されない方法による清掃
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
国立大学法人名古屋大学 National University Corporation Nagoya University [JP/JP]; 愛知県名古屋市千種区不老町1番 1, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-shi, Aichi 4648601, JP (AllExceptUS)
NUエコ・エンジニアリング株式会社 NU Eco Engineering Co., Ltd. [JP/JP]; 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目3番地8 2-3-8, Kurozasaizumi, Miyoshi-shi, Aichi 4700232, JP (AllExceptUS)
富士機械製造株式会社 FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 愛知県知立市山町茶碓山19番地 19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP (AllExceptUS)
堀 勝 HORI, Masaru [JP/JP]; JP (UsOnly)
加納 浩之 KANO, Hiroyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
川角 哲徳 KAWASUMI, Tetsunori [JP/JP]; JP (UsOnly)
吉田 直史 YOSHIDA, Naofumi [JP/JP]; JP (UsOnly)
川尻 明宏 KAWAJIRI, Akihiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
渡邊 智弘 WATANABE, Toshimitsu [JP/JP]; JP (UsOnly)
五十褄 丈二 ISOZUMI, Joji [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
堀 勝 HORI, Masaru; JP
加納 浩之 KANO, Hiroyuki; JP
川角 哲徳 KAWASUMI, Tetsunori; JP
吉田 直史 YOSHIDA, Naofumi; JP
川尻 明宏 KAWAJIRI, Akihiro; JP
渡邊 智弘 WATANABE, Toshimitsu; JP
五十褄 丈二 ISOZUMI, Joji; JP
代理人:
特許業務法人中部国際特許事務所 CHUBU PATENT OFFICE; 愛知県名古屋市中村区名駅4丁目2番25号 名古屋ビルディング東館 7階 Nagoya-Bldg. Higashikan 7th Floor, 2-25, Meieki 4-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4500002, JP
優先権情報:
2010-14952430.06.2010JP
発明の名称: (EN) REACTIVE SPECIES SUPPLY DEVICE AND SURFACE TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION D'ESPÈCES RÉACTIVES ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SURFACE
(JA) 反応種供給装置および表面等処理装置
要約:
(EN) Disclosed are a reactive species supply device and a surface treatment device that protect discharge electrode sections from processing gas, and prevent oxidation and lengthen the life thereof. Electrodes (22 to 25) are covered by electrode covers (22P to 25P) and discharge openings (22HL to 25HL and 22HR to 25HR, with 22HL and 25HR being blocked) are provided. In addition, protective gas flow inlets (22Q to 25Q) are provided at a 90° phase-displaced position on the upstream side of the discharge openings (22HL to 25 HL and 22HR to 25HR). The protective gas that is caused to flow in from the protective gas flow inlets (22Q to 25Q) is made to flow around the periphery of the discharge electrode sections (22S to 25S) and flow out into a discharge space. Supply of protective gas to the discharge electrode sections (22S to 25S) can make contact between the discharge electrode sections (22S to 25S) and the processing gas difficult. This enables oxidation of the discharge electrode sections (22S to 25S) to be suppressed and the life thereof to be lengthened.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'alimentation d'espèces réactives et un dispositif de traitement de surface qui protègent des sections d'électrodes de décharge d'un gaz de traitement. Ils en empêchent l'oxydation et en rallongent la durée de vie. Les électrodes (22 à 25) sont couvertes par des couvercles (22P à 25P), et des ouvertures de décharge (22HL à 25HL et 22HR à 25HR, 22HL et 25HR étant bloqués) sont prévues. En outre, les admissions des flux de gaz de protection (22Q à 25Q) sont ménagées à une position à déplacement de phase de 90° côté amont des ouvertures de décharge (22HL à 25HL et 22HR à 25HR). Le gaz de protection devant circuler depuis les admissions d'écoulement du gaz de protection (22Q à 25Q) doit s'écouler sur la périphérie des sections d'électrodes de décharge (22S à 25S) puis pénétrer dans un espace de décharge. L'amenée du gaz de protection vers les sections d'électrodes de décharge (22S à 25S) peut rendre difficile le contact entre les sections d'électrodes de décharge (22S à 25S) et le traitement du gaz. Cela permet de supprimer l'oxydation des sections d'électrode de décharge (22S à 25S) et de rallonger leur durée de vie.
(JA) 放電電極部を処理ガスから保護し、酸化を防止して、寿命を長くする。電極22~25を電極カバー22P~25Pで覆い、放電開口22HL,HR~25HL,HR(22HL、25HRは閉塞されている)を設ける。また、放電開口22HL,HR~25HL,HRの上流側で、90°位相がずれた位置に保護ガス流入口22Q~25Qを設ける。保護ガス流入口22Q~25Qから流入させられた保護ガスは、放電電極部22S~25Sの周辺を流れて放電空間に流出させられる。放電電極部22S~25Sに保護ガスが供給されるため、放電電極部22S~25Sが処理ガスに接触し難くすることができる。そのため、放電電極部22S~25Sの酸化を抑制し、寿命を長くすることができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
Also published as:
US20130174984CN103120031IN222/DELNP/2013