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1. WO2012001929 - 波面収差測定装置及び波面収差測定方法

公開番号 WO/2012/001929
公開日 05.01.2012
国際出願番号 PCT/JP2011/003625
国際出願日 24.06.2011
IPC
G01M 11/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
M機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
11光学装置の試験;他に分類されない光学的方法による構造物の試験
02光学的特性の試験
CPC
G01M 11/0214
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0207Details of measuring devices
0214Details of devices holding the object to be tested
G01M 11/0271
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0242by measuring geometrical properties or aberrations
0271by using interferometric methods
出願人
  • パナソニック株式会社 PANASONIC CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 松崎 圭一 MATSUZAKI, Keiichi (UsOnly)
  • 佐野 晃正 SANO, Kousei (UsOnly)
発明者
  • 松崎 圭一 MATSUZAKI, Keiichi
  • 佐野 晃正 SANO, Kousei
代理人
  • 小谷 悦司 KOTANI, Etsuji
優先権情報
2010-15104301.07.2010JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) WAVEFRONT ABERRATION MEASURING APPARATUS AND WAVEFRONT ABERRATION MEASURING METHOD
(FR) APPAREIL DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE
(JA) 波面収差測定装置及び波面収差測定方法
要約
(EN)
Disclosed is a wavefront aberration measuring apparatus wherein a beam splitter (3) splits light emitted from a light source (1) into measuring light (8) and reference light (12), and guides the measuring light (8) reflected by a lens (5) to be inspected and the reference light (12) to be in the same direction. An objective lens (7) collects the measuring light (8) to the lens (5), and converts the measuring light (8) reflected by the lens surface of the lens (5) into parallel light, a reference mirror (10) reflects the reference light (12) toward the beam splitter (3), the light source (1) emits the low coherence light, and the optical path length of the measuring light (8) and that of the reference light (12) accord with each other. With such configuration, influence of interference noise due to reflection light from surfaces different from the lens surface to be measured can be reduced, and the wavefront aberration of the lens surface to be measured can be highly accurately measured.
(FR)
L'invention concerne un appareil de mesure d'aberration de front d'onde dans lequel un diviseur de faisceau (3) divise la lumière émise par une source de lumière (1) en une lumière de mesure (8) et une lumière de référence (12), et guide la lumière de mesure (8) réfléchie par une lentille (5) à inspecter et la lumière de référence (12) de sorte qu'elles soient dans une même direction. Une lentille d'objectif (7) recueille la lumière de mesure (8) vers la lentille (5) et convertit la lumière de mesure (8) réfléchie par la surface de la lentille (5) en une lumière parallèle, un miroir de référence (10) réfléchit la lumière de référence (12) vers le diviseur de faisceau (3), la source de lumière (1) émet une lumière à basse cohérence, et la longueur du trajet optique de la lumière de mesure (8) et celle de la lumière de référence (12) s'accordent l'une avec l'autre. Grâce à cette configuration, l'influence des bruits d'interférence dus à la lumière de réflexion venant de surfaces différentes de la surface de lentille à mesurer peut être réduite, et une aberration de front d'onde de la surface de lentille à mesurer peut être mesurée avec une grande précision.
(JA)
 ビームスプリッタ(3)は、光源(1)から出射された光を測定光(8)と参照光(12)とに分岐し、かつ、被検レンズ(5)を反射した測定光(8)と、参照光(12)とをそれぞれ同一方向に導き、対物レンズ(7)は、測定光(8)を被検レンズ(5)に集光し、かつ、被検レンズ(5)のレンズ面から反射した測定光(8)を平行光に変換し、参照ミラー(10)は、参照光(12)をビームスプリッタ(3)に向けて反射し、光源(1)は、低コヒーレンス光を出射し、測定光(8)と参照光(12)との光路長は一致する。この構成により、被検レンズの測定面とは異なる面からの反射光による干渉ノイズの影響を低減することができ、高精度に被検レンズの測定面の波面収差を測定することができる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報