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1. (WO2011132443) 弾性表面波装置及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/132443 国際出願番号: PCT/JP2011/051691
国際公開日: 27.10.2011 国際出願日: 28.01.2011
IPC:
H03H 9/145 (2006.01) ,H03H 3/10 (2006.01) ,H03H 9/25 (2006.01) ,H03H 9/64 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02
細部
125
駆動手段,例.電極,コイル
145
弾性表面波を用いる回路網のためのもの
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
3
インピーダンス回路網,共振回路,共振器の製造に特有な装置または工程
007
電気機械的共振器または回路網の製造のためのもの
08
弾性表面波を用いる共振器または回路網の製造のためのもの
10
所望の周波数または温度係数を得るためのもの
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
25
弾性表面波を使用する共振器の構造上の特徴
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
46
濾波器
64
弾性表面波を用いるもの
出願人:
株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555, JP (AllExceptUS)
玉崎 大輔 TAMAZAKI, Daisuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
菊知 拓 KIKUCHI, Taku [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
玉崎 大輔 TAMAZAKI, Daisuke; JP
菊知 拓 KIKUCHI, Taku; JP
代理人:
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI; 大阪府大阪市中央区常盤町1丁目3番8号 中央大通FNビル Chuo Odori FN Bldg., 3-8, Tokiwamachi 1-chome, Chuo-ku, Osalka-shi, Osaka 5400028, JP
優先権情報:
2010-09806121.04.2010JP
発明の名称: (EN) SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF SAME
(FR) DISPOSITIF À ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
(JA) 弾性表面波装置及びその製造方法
要約:
(EN) Disclosed is a surface acoustic wave device upon which an insulating film is formed so as to cover an IDT electrode upon a piezoelectric substrate, wherein the frequency characteristics of the surface acoustic wave device, such as resonance characteristics and filter characteristics, are superior. A surface acoustic wave device (1) is provided with a piezoelectric substrate (10), an IDT electrode (11), an insulating film (16) formed so as to cover the IDT electrode (11) upon the piezoelectric substrate (10), and a frequency adjustment film (17) formed upon the insulating film (16). Upon the surface (16a) of the insulating film (16), a plurality of convex portions (16a1) shaped so as to correspond to the shapes of a plurality of electrode fingers (12a and 13a) are formed. The center position of the convex portions (16a1) formed upon the surface (16a) of the insulating film (16) in a surface acoustic wave propagation direction (D), and the center position of the electrode fingers (12a and 13a) corresponding to the convex portions (16a1) in the surface acoustic wave propagation direction (D), differ in the surface acoustic wave propagation direction (D).
(FR) L'invention concerne un dispositif à ondes acoustiques de surface sur lequel un film isolant est formé de sorte à recouvrir une électrode IDT sur un substrat piézoélectrique, ce dispositif présentant des caractéristiques de fréquence, telles que des caractéristiques de résonance et des caractéristiques de filtre, supérieures. Le dispositif à ondes acoustiques de surface (1) selon l'invention comprend un substrat piézoélectrique (10), une électrode IDT (11), un film isolant (16) formé de sorte à recouvrir l'électrode IDT (11) sur le substrat (10), ainsi qu'un film de réglage de fréquence (17) formé sur le film isolant (16). Sur la surface (16a) du film isolant (16) sont formées une pluralité de parties convexes (16a1) conformées de sorte à correspondre aux formes d'une pluralité de doigts d'électrode (12a et 13a). La position centrale des parties convexes (16a1) formées sur la surface (16a) du film isolant (16) dans une direction de propagation d'ondes acoustiques de surface (D) et la position centrale des doigts d'électrode (12a et 13a) correspondant aux parties convexes (16a1) dans la direction de propagation (D) diffèrent dans la direction de propagation des ondes acoustiques de surface (D).
(JA)  圧電基板の上にIDT電極を覆うように絶縁膜が形成されている弾性表面波装置であって、共振特性やフィルタ特性などの周波数特性が良好な弾性表面波装置を提供する。 弾性表面波装置1は、圧電基板10と、IDT電極11と、圧電基板10の上に、IDT電極11を覆うように形成されている絶縁膜16と、絶縁膜16の上に形成されている周波数調整膜17とを備えている。絶縁膜16の表面16aには、複数の電極指12a、13aの形状に対応した形状の複数の凸部16a1が形成されている。絶縁膜16の表面16aに形成された凸部16a1の弾性表面波伝搬方向Dにおける中心の位置と、当該凸部16a1に対応する電極指12a、13aの弾性表面波伝搬方向Dにおける中心の位置とは、弾性表面波伝搬方向Dにおいて異なっている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)