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1. (WO2011129244) 接触構造体および接触構造体の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/129244 国際出願番号: PCT/JP2011/058718
国際公開日: 20.10.2011 国際出願日: 06.04.2011
IPC:
G01R 1/073 (2006.01) ,G01R 1/067 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP (AllExceptUS)
佐藤 陽平 SATO, Yohei [JP/JP]; JP (UsOnly)
星野 智久 HOSHINO, Tomohisa [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
佐藤 陽平 SATO, Yohei; JP
星野 智久 HOSHINO, Tomohisa; JP
代理人:
萩原康司 HAGIWARA, Yasushi; 東京都新宿区住吉町1-20 角張ビル はづき国際特許事務所 Hazuki International, Kakubari Building, 1-20, Sumiyoshi-cho, Shinjuku-ku, Tokyo 1620065, JP
優先権情報:
2010-09373315.04.2010JP
発明の名称: (EN) CONTACT STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING CONTACT STRUCTURE
(FR) STRUCTURE DE CONTACT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE DE CONTACT
(JA) 接触構造体および接触構造体の製造方法
要約:
(EN) Disclosed is a contact structure which is provided with a probe and a housing that is disposed on the outer circumference of the probe. The housing has: a housing main body wherein a hollow section that penetrates the housing main body in the vertical direction is formed; and a conductive coat film, with which the inner wall surface of the hollow section is coated. The probe has: a base end portion having the position thereof fixed on one end side of the housing; a conductive leading end portion, which can move in the hollow section in a state wherein the leading end portion is in contact with the coat film, and which is provided with, on the leading end, a contact to a subject to be inspected; and an elastic portion, which connects together the base end portion and the leading end portion, is disposed in the hollow section, and has elasticity.
(FR) L'invention concerne une structure de contact comprenant une sonde et un boîtier qui est disposé sur la circonférence externe de la sonde. Le boîtier comprend : un corps principal de boîtier dans lequel une section creuse est formée de manière à pénétrer le corps principal de boîtier dans le sens vertical ; et un film de revêtement conducteur avec lequel la surface de la paroi interne de la section creuse est recouverte. La sonde comprend : une partie extrémité de base dont la position est fixée sur un côté d'extrémité du boîtier ; une partie extrémité de conducteur conductrice qui peut se déplacer dans la section creuse lorsque la partie extrémité de conducteur est en contact avec le film de revêtement et qui comporte, sur l'extrémité de conducteur, un contact vers un sujet à inspecter ; et une partie élastique qui connecte la partie extrémité de base et la partie extrémité de conducteur, qui est disposée dans la section creuse et qui est élastique.
(JA)  接触構造体は、プローブとその外周に配置されるハウジングとを備え、ハウジングは、上下方向に貫通した中空部が形成されたハウジング本体と、中空部の内壁面に被覆された導電性の被覆膜を有し、プローブは、ハウジングの一端側において位置が固定される基端部と、被覆膜に接触した状態で中空部を移動可能であり先端に被検査体への接触子を備えた導電性の先端部と、基端部と先端部とを連結し中空部に配置されて弾性を有する弾性部とを有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20130033282CN102713643KR1020130018791