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1. (WO2011128980) 部品移送装置及び方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/128980 国際出願番号: PCT/JP2010/056614
国際公開日: 20.10.2011 国際出願日: 13.04.2010
IPC:
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/52 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52
容器中への半導体本体のマウント
出願人:
パイオニア株式会社 PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県川崎市幸区新小倉1番1号 1-1, Shin-ogura, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120031, JP (AllExceptUS)
株式会社パイオニアFA PIONEER FA CORPORATION [JP/JP]; 埼玉県坂戸市千代田5丁目7番1号 7-1, Chiyoda 5-chome, Sakado-shi, Saitama 3500286, JP (AllExceptUS)
藤森 昭一 FUJIMORI, Shoichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
清水 寿治 SHIMIZU, Hisaharu [JP/JP]; JP (UsOnly)
青木 秀憲 AOKI, Hidenori [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
藤森 昭一 FUJIMORI, Shoichi; JP
清水 寿治 SHIMIZU, Hisaharu; JP
青木 秀憲 AOKI, Hidenori; JP
代理人:
江上 達夫 EGAMI, Tatsuo; 東京都中央区京橋一丁目16番10号 オークビル京橋3階 東京セントラル特許事務所内 c/o TOKYO CENTRAL PATENT FIRM, 3rd Floor, Oak Building Kyobashi, 16-10, Kyobashi 1-chome, Chuou-ku, Tokyo 1040031, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING COMPONENT
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR TRANSFERT D'UN COMPOSANT
(JA) 部品移送装置及び方法
要約:
(EN) Disclosed is a component transfer apparatus (1), which picks up a plurality of wafer-like chips (100) held by a holding unit (11, 200), and transfers the chips to a disposing unit (21, 300). The component transfer apparatus is provided with: the holding unit, which holds the chips; suction nozzles (31), which suck the chips; placing means (30, 32), which hold the suction nozzles, and move between the holding unit and the disposing unit; a nozzle moving means (32) which sequentially moves the suction nozzles one by one to predetermined pickup positions (Pu) by moving the placing means, said suction nozzles being held by the placing means; and nozzle control means (13, 14, 15) which, at the pickup position, control one of the suction nozzles to suck one of the chips held by the holding unit. The placing means move to the disposing unit after suction to be performed by each suction nozzle is completed.
(FR) L'invention concerne un appareil de transfert de composant (1) saisissant une pluralité de puces de type galette (100) contenues dans une unité de mise à disposition (11, 200) et transférant les puces vers une unité de mise en place (21, 300). L'appareil de transfert comprend : l'unité de maintien, portant les puces ; des buses d'aspiration (31) qui aspirent les puces ; un moyen de mise en place (30, 32) portant les buses d'aspiration et les déplaçant entre l'unité de retenue et l'unité de mise en place ; un moyen de déplacement de buse (32) déplaçant séquentiellement les buses d'aspiration, une par une, vers des positions prédéterminées de saisie (Pu) en déplaçant le moyen de mise en place, lesdites buses d'aspiration étant portées par le moyen de placement ; et un moyen de commande des buses (13, 14, 15) commandant dans la position de saisie l'une des buses d'aspiration afin qu'elle aspire l'une des puces portées par l'unité de mise à disposition. Le moyen de mise en place se déplace vers l'unité de mise en place après que chaque buse d'aspiration a achevé l'opération d'aspiration.
(JA)  部品移送装置(1)は、保持部(11、200)に複数保持されるウエハ状のチップ(100)を取り出し、配置部(21、300)へ移送する装置であって、チップを保持する保持部と、チップを吸着する吸着ノズル(31)と、吸着ノズルを複数保持し、保持部と配置部との間で移動する移載手段(30、32)と、移載手段を移動させることで、移載手段に保持される複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に所定のピックアップ位置(Pu)へ移動するノズル移動手段(32)と、ピックアップ位置において、保持部に保持される複数のチップのうちの一を複数の吸着ノズルのうちの一に吸着させるノズル制御手段(13、14、15)とを備え、移載手段は、複数の吸着ノズルの夫々の吸着が終了した後に、配置部へと移動する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN102484087JPWO2011128980