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1. (WO2011125971) 波面収差測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/125971 国際出願番号: PCT/JP2011/058509
国際公開日: 13.10.2011 国際出願日: 04.04.2011
IPC:
G01M 11/02 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
M
機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
11
光学装置の試験;他に分類されない光学的方法による構造物の試験
02
光学的特性の試験
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区有楽町1丁目12番1号 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
大瀧達朗 OTAKI, Tatsuro [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
大瀧達朗 OTAKI, Tatsuro; JP
代理人:
井上義雄 INOUE, Yoshio; 東京都中央区日本橋3丁目1番4号画廊ビル3階 3F, Garoh Bldg., 1-4, Nihonbashi 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030027, JP
優先権情報:
2010-08735105.04.2010JP
発明の名称: (EN) WAVEFRONT ABERRATION MEASURING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE
(JA) 波面収差測定装置
要約:
(EN) Disclosed is a wavefront aberration measuring apparatus which comprises: an illumination optical system disposed on an incident side of a lens to be detected; and a measurement optical system disposed on an emission side of the lens to be detected, wherein the illumination optical system has an openable and closeable aperture diaphragm and is movable along the optical axis of the illumination optical system such that the aperture diaphragm and an entrance pupil surface of the lens to be detected are adjusted to positions which have an optically conjugate relationship with each other. Accordingly, the wavefront aberration measuring apparatus can suppress errors in measurement results.
(FR) La présente invention concerne un appareil de mesure d'aberration de front d'onde, comprenant : un système d'éclairage optique, disposé sur un côté incident d'une lentille à détecter ; et un système de mesure optique, disposé sur un côté émission de la lentille à détecter. Le système d'éclairage optique comporte un diaphragme d'ouverture pouvant être ouvert et fermé, et peut se déplacer le long de l'axe optique du système d'éclairage optique de façon à ce que le diaphragme d'ouverture et une surface de pupille d'entrée de la lentille à détecter soient réglés sur des positions qui sont en relation optiquement conjuguée. L'appareil de mesure d'aberration de front d'onde peut ainsi supprimer des erreurs dans les résultats de mesure.
(JA)  被検レンズの入射側に設けられた照明光学系と、前記被検レンズの射出側に設けられた計測光学系とを備え、前記照明光学系は、開閉自在な開口絞りを有し、前記照明光学系は、前記開口絞りと前記被検レンズの入射瞳面とを光学的共役関係の位置に調整するように、照明光学系の光軸に沿って移動自在であることを特徴とする波面収差測定装置。これにより、測定結果の誤差を抑制することができる波面収差測定装置を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2011125971CN102844651