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1. (WO2011125827) 光源装置、光学装置、露光装置、デバイス製造方法、照明方法、露光方法、および光学装置の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/125827 国際出願番号: PCT/JP2011/058189
国際公開日: 13.10.2011 国際出願日: 31.03.2011
IPC:
H01L 21/027 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区有楽町一丁目12番1号 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
小松田 秀基 KOMATSUDA Hideki [JP/JP]; JP (UsOnly)
川辺 喜雄 KAWABE Yoshio [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
小松田 秀基 KOMATSUDA Hideki; JP
川辺 喜雄 KAWABE Yoshio; JP
代理人:
山口 孝雄 YAMAGUCHI Takao; 東京都千代田区神田司町二丁目10番地 第一ビル Daiichi Bldg. 10, Kanda-tsukasacho 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010048, JP
優先権情報:
61/320,44302.04.2010US
61/320,45302.04.2010US
発明の名称: (EN) LIGHT SOURCE APPARATUS, OPTICAL APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD, ILLUMINATING METHOD, EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL APPARATUS
(FR) APPAREIL DE SOURCE LUMINEUSE, APPAREIL OPTIQUE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF, PROCÉDÉ D'ÉCLAIRAGE, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN APPAREIL OPTIQUE
(JA) 光源装置、光学装置、露光装置、デバイス製造方法、照明方法、露光方法、および光学装置の製造方法
要約:
(EN) Disclosed is an optical apparatus, which can suppress light quantity loss due to, for instance, an overlap error of illuminating fields, and which can illuminate a surface to be illuminated under required illuminating conditions at a high light efficiency. The optical apparatus, which illuminates, with light emitted from a light source, a first region having a longer length in the second direction that intersects the first direction than the length in the first direction, is provided with: a collector optical member, which is disposed in an optical path between the light source and the first region, collects the light emitted from the light source, and forms a second region on the predetermined surface, said second region having a longer length in the fourth direction that intersects the third direction than the length in the third direction; and a first fly's eye optical member, which is provided within a predetermined surface that includes the second region, and which has a plurality of first optical elements that guide, to the first region, light transmitted from the collector optical member.
(FR) La présente invention a trait à un appareil optique, qui permet de supprimer les pertes de quantité de lumière dues, par exemple, à une erreur de chevauchement des champs d'éclairage et qui permet d'éclairer une surface devant être éclairée dans des conditions d'éclairage requises à une efficacité lumineuse élevée. L'appareil optique, qui éclaire, au moyen d'une lumière émise à partir d'une source lumineuse, une première zone dotée d'une plus grande longueur dans la deuxième direction qui croise la première direction par rapport à la longueur dans la première direction, est équipé : d'un élément optique de collecteur, qui est disposé dans un chemin optique entre la source lumineuse et la première zone, qui collecte la lumière émise à partir de la source lumineuse et qui forme une seconde zone sur la surface prédéterminée, ladite seconde zone étant dotée d'une plus grande longueur dans la quatrième direction qui croise la troisième direction par rapport à la longueur dans la troisième direction ; et d'un premier élément optique à lentille multiple, qui est prévu à l'intérieur d'une surface prédéterminée qui inclut la seconde zone et qui est dotée d'une pluralité de premiers éléments optiques qui guident, vers la première zone, la lumière émise à partir de l'élément optique de collecteur.
(JA)  例えば照野の重なり誤差に起因する光量損失を小さく抑え、且つ光効率の高い所要の照明条件で被照射面を照明することのできる光学装置。光源からの光により第1方向の長さよりも第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明する光学装置は、光源と第1領域との間の光路中に配置されて、光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を所定面に形成するコレクター光学部材と、第2領域を含む所定面内に設けられ、コレクター光学部材の光を第1領域に導く複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
EP2555228US20130128248JPWO2011125827KR1020130083833KR1020170119732KR1020190010743