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1. (WO2011125654) 加熱制御システム、それを備えた成膜装置、および温度制御方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/125654 国際出願番号: PCT/JP2011/057825
国際公開日: 13.10.2011 国際出願日: 29.03.2011
IPC:
H01L 21/205 (2006.01) ,C23C 16/52 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20
基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
205
固体を析出させるガス状化合物の還元または分解を用いるもの,すなわち化学的析出を用いるもの
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
52
被覆工程の制御または調整(制御または調整一般G05)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522, JP (AllExceptUS)
坂上 英和 SAKAGAMI, Hidekazu; null (UsOnly)
岡田 俊範 OKADA, Toshinori; null (UsOnly)
発明者:
坂上 英和 SAKAGAMI, Hidekazu; null
岡田 俊範 OKADA, Toshinori; null
代理人:
特許業務法人原謙三国際特許事務所 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
2010-08954508.04.2010JP
発明の名称: (EN) HEATING CONTROL SYSTEM, DEPOSITION DEVICE PROVIDED THEREWITH, AND TEMPERATURE CONTROL METHOD
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE DE CHAUFFAGE, DISPOSITIF DE DÉPÔT PRÉVU AVEC CELUI-CI ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE TEMPÉRATURE
(JA) 加熱制御システム、それを備えた成膜装置、および温度制御方法
要約:
(EN) In order to implement a heating control system independent of characteristic variations of a plurality of heater power sources in the heating of an object to be heated by a plurality of heaters, disclosed is a heating control system provided with a thermocouple (6M) for detecting the temperature of an object to be heated, a temperature control means (3M) and a temperature control means (3S1), a current/voltage detection means (5M) for detecting a power value (Wm) and a current/voltage detection means (5S1) for detecting a current power (PVs1), and a target power calculation means (1S1) for calculating a target power (SPs1). The temperature control means (3M) inputs a target temperature (SPm) and a current temperature (PVm) and controls the power so that the current temperature (PVm) matches the target temperature (SPm), the target power calculation means (1S1) inputs the power value (Wm) and calculates the target power (SPs1) by multiplying the power value (Wm) by a predetermined rate, and the temperature control means (3S1) inputs the target power (SPs1) and the current power (PVs1) and controls the power so that the current power (PVs1) matches the target power (SPs1).
(FR) Afin de mettre en œuvre un système de commande de chauffage indépendant des variations de caractéristiques d'une pluralité de blocs d'alimentation d'appareil de chauffage lors du chauffage d'un objet devant être chauffé par une pluralité d'appareils de chauffage, la présente invention a trait à un système de commande de chauffage équipé d'un thermocouple (6M) permettant de détecter la température d'un objet devant être chauffé, d'un moyen de régulation de température (3M) et d'un moyen de régulation de température (3S1), d'un moyen de détection de courant/tension (5M) permettant de détecter une valeur de puissance (Wm) et d'un moyen de détection de courant/tension (5S1) permettant de détecter une puissance réelle (PVs1), et d'un moyen de calcul de puissance cible (1S1) permettant de calculer une puissance cible (SPs1). Le moyen de régulation de température (3M) fournit en entrée une température cible (SPm) et une température réelle (PVm) et commande la puissance de manière à ce que la température réelle (PVm) corresponde à la température cible (SPm), le moyen de calcul de puissance cible (1S1) fournit en entrée la valeur de puissance (Wm) et calcule la puissance cible (SPs1) en multipliant la valeur de puissance (Wm) par un taux prédéterminé, et le moyen de régulation de température (3S1) fournit en entrée la puissance cible (SPs1) et la puissance réelle (PVs1) et commande la puissance de manière à ce que la puissance réelle (PVs1) corresponde à la puissance cible (SPs1).
(JA)  複数のヒータで被加熱物を加熱するにあたり、複数のヒータ電源の特性ばらつきに依存しない加熱制御システムを実現するため、本発明の加熱制御システムは、被加熱物の温度を検出する熱電対(6M)と、温度制御手段(3M)および温度制御手段(3S1)と、電力値(Wm)を検出する電流・電圧検出手段(5M)および現在電力(PVs1)を検出する電流・電圧検出手段(5S1)と、目標電力(SPs1)を算出する目標電力算出手段(1S1)とを備えている。温度制御手段(3M)は、目標温度(SPm)および現在温度(PVm)を入力し、現在温度(PVm)が目標温度(SPm)に合うように電力を制御し、目標電力算出手段(1S1)は、電力値(Wm)を入力し、電力値(Wm)に所定の比率を乗じて目標電力(SPs1)を算出し、温度制御手段(3S1)は、目標電力(SPs1)、および現在電力(PVs1)を入力し、現在電力(PVs1)が目標電力(SPs1)に合うように電力を制御している。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
EP2557591US20130020311CN102668034KR1020120096021