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1. (WO2011125260) θZ駆動装置およびステージ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/125260 国際出願番号: PCT/JP2010/072075
国際公開日: 13.10.2011 国際出願日: 09.12.2010
IPC:
H01L 21/68 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68
位置決め,方向決め,または整列のためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
株式会社安川電機 KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI [JP/JP]; 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号 2-1, Kurosaki-shiroishi, Yahatanishi-ku, Kitakyushu-shi Fukuoka 8060004, JP (AllExceptUS)
久保田 義昭 KUBOTA, Yoshiaki [JP/JP]; JP (UsOnly)
鹿山 透 SHIKAYAMA, Toru [JP/JP]; JP (UsOnly)
壇 洋一郎 DAN, Yoichiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
河野 寿之 KONO, Toshiyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
豊田 昭仁 TOYODA, Akihito [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
久保田 義昭 KUBOTA, Yoshiaki; JP
鹿山 透 SHIKAYAMA, Toru; JP
壇 洋一郎 DAN, Yoichiro; JP
河野 寿之 KONO, Toshiyuki; JP
豊田 昭仁 TOYODA, Akihito; JP
代理人:
宮園 博一 MIYAZONO, Hirokazu; 大阪府大阪市淀川区西中島5丁目13番9号 新大阪MTビル1号館 Shin-Osaka MT Building I, 13-9, Nishinakajima 5-chome, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011, JP
優先権情報:
2010-08827207.04.2010JP
発明の名称: (EN) θZ DRIVE APPARATUS AND STAGE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ENTRAÎNEMENT θZ ET APPAREIL À PLATINE
(JA) θZ駆動装置およびステージ装置
要約:
(EN) Disclosed is a θZ drive apparatus (110) wherein at least three coil sections (43a, 43b, 43c) are disposed such that a stage (30) can be driven in the Z direction, the θx direction, which is the rotation direction having the X direction within the horizontal plane as the rotation center line, and the θy direction, which is the rotation direction having the Y direction within the horizontal plane as the rotation center line, said Y direction orthogonally intersecting the X direction.
(FR) L'invention porte sur un appareil d'entraînement θZ (100), dans lequel appareil au moins trois sections d'enroulement (43a, 43b, 43c) sont disposées de telle sorte qu'une platine (30) peut être entraînée dans la direction Z, dans la direction θx, qui est la direction de rotation ayant la direction X à l'intérieur du plan horizontal comme ligne de centre de rotation, et dans la direction θy, qui est la direction de rotation ayant la direction Y à l'intérieur du plan horizontal comme ligne de centre de rotation, ladite direction Y coupant de façon orthogonale la direction X.
(JA)  このθZ駆動装置(110)では、少なくとも3つのコイル部(43a、43bおよび43c)は、ステージ(30)を、Z方向と、水平面内のX方向を回転中心線とする回転方向であるθx方向と、X方向と直交する水平面内のY方向を回転中心線とする回転方向であるθy方向とに駆動可能なように配置されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20130033123CN102947925JPWO2011125260KR1020130040805IN8756/CHENP/2012