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1. (WO2011125191) プローブ及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2011/125191 国際出願番号: PCT/JP2010/056322
国際公開日: 13.10.2011 国際出願日: 07.04.2010
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 1/073 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
出願人:
株式会社アドバンテスト ADVANTEST Corporation [JP/JP]; 東京都練馬区旭町一丁目32番1号 32-1, Asahicho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071, JP (AllExceptUS)
梅村 芳春 UMEMURA, Yoshiharu [JP/JP]; JP (UsOnly)
菅井 勝士 SUGAI, Katsushi [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
梅村 芳春 UMEMURA, Yoshiharu; JP
菅井 勝士 SUGAI, Katsushi; JP
代理人:
とこしえ特許業務法人 TOKOSHIE PATENT FIRM; 東京都新宿区西新宿7丁目22番27号 西新宿KNビル Nishishinjuku KN Bldg., 22-27, Nishishinjuku 7-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) PROBE AND MANUFACTURING METHOD FOR SAME
(FR) SONDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION POUR CELLE-CI
(JA) プローブ及びその製造方法
要約:
(EN) A probe (10) is provided with a plurality of substrates (20-60) each having a plurality of magnets (25-65). The plurality of substrates include a first substrate, and a second substrate which is laminated to the first substrate. The plurality of magnets include a plurality of first magnets which are provided on the first substrate, and a plurality of second magnets which are provided on the second substrate and which are arranged so as to respectively face the first magnets. First and second magnets which face one-another are provided in a manner such that different magnetic poles face one-another.
(FR) L'invention porte sur une sonde (10), qui comporte une pluralité de substrats (20-60) ayant chacun une pluralité d'aimants (25-65). La pluralité de substrats comprend un premier substrat, et un second substrat qui est stratifié sur le premier substrat. La pluralité d'aimants comprennent une pluralité de premiers aimants qui sont disposés sur le premier substrat, et une pluralité de seconds aimants qui sont disposés sur le second substrat, et qui sont conçus de façon à faire respectivement face aux premiers aimants. Des premiers et seconds aimants qui se font mutuellement face sont disposés d'une telle manière que des pôles magnétiques différents se font mutuellement face.
(JA)  プローブ10は、複数の磁石25~65をそれぞれ有する複数の基板20~60を備え、複数の基板は、第1の基板と、第1の基板に積層された第2の基板と、を含み、複数の磁石は、第1の基板に設けられた複数の第1の磁石と、第2の基板に設けられ、複数の前記第1の磁石にそれぞれ対向するように配置された第2の磁石と、を含んでおり、相互に対向する第1の磁石と第2の磁石は、互いに異なる磁極が向かい合うように設けられている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20120038382JPWO2011125191