(EN) Conventional substrate holding apparatuses that hold substrates in non-contact manner without contaminating the substrates have been causing troubles in various processes due to the fact that the substrates are warped with the weight thereof and are warped due to wind pressure generated by rotational movement under use conditions.
Disclosed is a substrate mounting apparatus wherein a non-contact displacement sensor that measures the height of the substrate surface is disposed on the upper surface of the substrate so as to maintain the upper surface of the substrate at a desired surface height or maintain flatness, a plurality of grooves and barrier walls are provided on the upper surface of a placing table, air is supplied to between the substrate and the placing table, and displacement of the substrate is made possible with the pressure of the air. Furthermore, the substrate mounting apparatus has a structure that can have the substrate deformed into a discretionary protruding or recessed shape or flattened by feeding back the output of the displacement sensor.
(FR) Les appareils conventionnels de maintien de substrat, qui maintiennent les substrats sans contact et sans contaminer les substrats, posent des problèmes dans différents processus du fait que les substrats fléchissent sous leur propre poids et fléchissent en raison de la pression du vent produit par le mouvement de rotation dans les conditions d'utilisation. L'invention concerne un appareil de maintien de substrat dans lequel un capteur de déplacement sans contact qui mesure la hauteur de la surface du substrat est placé sur la surface supérieure du substrat afin de maintenir la surface supérieure du substrat à une hauteur voulue ou afin de maintenir la planéité. Une pluralité de rainures et de cloisons formant barrière est implantée sur la surface supérieure d'une table de placement, de l'air est envoyé entre le substrat et la table de placement et le déplacement du substrat est permis du fait de la pression de l'air. En outre, l'appareil de maintien de substrat possède une structure qui permet de déformer le substrat au choix, en saillie ou en dépression ou à plat, en renvoyant le signal de sortie du capteur de déplacement.
(JA) 基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。 基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。
