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1. (WO2011118658) 静電チャック
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/118658    国際出願番号:    PCT/JP2011/057039
国際公開日: 29.09.2011 国際出願日: 23.03.2011
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: TOTO LTD. [JP/JP]; 1-1, Nakashima 2-chome, Kokurakita-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 8028601 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HORI, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KONDO, Shunpei [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ANAI, Yuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ITAKURA, Ikuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UCHIMURA, Takeshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ANADA, Kazuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HORI, Hiroaki; (JP).
KONDO, Shunpei; (JP).
ANAI, Yuki; (JP).
ITAKURA, Ikuo; (JP).
UCHIMURA, Takeshi; (JP).
ANADA, Kazuki; (JP)
代理人: HYUGAJI, Masahiko; Kannai ST Bldg., 4-1, Onoe-cho 1-chome, Naka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2310015 (JP)
優先権情報:
2010-068982 24.03.2010 JP
2011-061738 18.03.2011 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック
要約: front page image
(EN)Provided is an electric chuck, which is equipped with a ceramic substrate that has a recess on the principal surface and an electrode inside, a temperature control substrate connected to the ceramic substrate, a first bonding agent in between the ceramic substrate and the temperature control substrate, and a heater installed in the recess of the ceramic substrate. The first bonding agent comprises a principal agent, amorphous filler and globular filler. The average diameter of the globular filler particles is greater than the maximum value for the minor axis of all amorphous filler particles. The thickness of the first bonding agent is equal to or greater than the average diameter of the globular filler particles. The width of the recess is greater than the width of the heater, and the depth of the recess is greater than the thickness of the heater. The heater is attached in the recess using a second bonding agent. A first distance between the principal surface of the temperature control substrate and the principal surface of the heater on the temperature control substrate side is longer than a second distance between the principal surface of the ceramic substrate and the principal surface of the temperature control substrate.
(FR)L'invention concerne un mandrin électrostatique équipé d'un substrat en céramique présentant un évidement sur la surface principale et une électrode à l'intérieur, un substrat de régulation de température connecté au substrat en céramique, un premier agent de liaison entre le substrat en céramique et le substrat de régulation de température, et un dispositif de chauffage installé dans l'évidement du substrat en céramique. Le premier agent de liaison comprend un agent principal, un agent de remplissage amorphe et un agent de remplissage globulaire. Le diamètre moyen des particules de l'agent de remplissage globulaire est supérieur à la valeur maximum pour l'axe le plus petit de toutes les particules de l'agent de remplissage amorphe. L'épaisseur du premier agent de liaison est égale ou supérieure au diamètre moyen des particules de l'agent de remplissage globulaire. La largeur de l'évidement est supérieur à la largeur du dispositif de chauffage, et la profondeur de l'évidement est supérieure à l'épaisseur du dispositif de chauffage. Le dispositif de chauffage est fixé dans l'évidement au moyen d'un second agent de liaison. Une première distance entre la surface principale du substrat de régulation de température et la surface principale du dispositif de chauffage sur le côté substrat de régulation de température est plus importante qu'une seconde distance entre la surface principale du substrat en céramique et la surface principale du substrat de régulation de température.
(JA) 主面に凹部が設けられ、内部に電極が設けられたセラミック板と、セラミック板に接合された温調プレートと、セラミック板と温調プレートとの間に設けられた第1の接合剤と、セラミック板の凹部内に設けられたヒータと、を備え、第1の接合剤は、主剤と、無定形フィラーと、球形フィラーと、を有し、球形フィラーの平均直径は、全ての無定形フィラーの短径の最大値よりも大きく、第1の接合剤の厚さは、球形フィラーの平均直径と同じか、もしくは大きく、凹部の幅は、ヒータの幅より広く、凹部の深さは、ヒータの厚さより深く、凹部内にヒータが第2の接合剤により接着され、ヒータの温調プレート側の主面と、温調プレートの主面と、の間の第1の距離が、セラミック板の主面と、温調プレートの主面と、の間の第2の距離よりも長い。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)