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1. (WO2011118408) プラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/118408    国際出願番号:    PCT/JP2011/055669
国際公開日: 29.09.2011 国際出願日: 10.03.2011
IPC:
C23C 16/455 (2006.01)
出願人: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. [JP/JP]; 4-4, Nishitemma 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5308565 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWASAKI Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NOGAMI Mitsuhide [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKANO Yoshinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SATOH Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWASAKI Shinichi; (JP).
NOGAMI Mitsuhide; (JP).
NAKANO Yoshinori; (JP).
SATOH Takashi; (JP)
代理人: WATANABE Noboru; 3rd Floor, Gobancho KU Building, 10 Gobancho, Chiyoda-ku Tokyo 1020076 (JP)
優先権情報:
2010-068746 24.03.2010 JP
発明の名称: (EN) PLASMA TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a plasma treatment device which, capable of preventing the condensation inside a nozzle, avoids malfunctions such as short circuits even if the reactive components of the reaction gas tend to condense. A discharge space (13) is formed between the electrodes of an electrode pair (11, 12) of a plasma treatment device (1), and a treated body (9) is irradiated with plasma. A nozzle (20) is disposed near at least one of the pair of electrodes (11, 12) or the discharge space (13). A reaction gas containing a condensing reactive component is sprayed from the nozzle (20) at the treated object (9). The temperature of the nozzle (20) is adjusted by means of a nozzle temperature adjustment means (30). A temperature adjustment path (32) is formed inside the nozzle (20) as the temperature adjustment means (30), and a temperature-regulating fluid is caused to flow through said temperature adjustment path (32). By means of a liquid temperature adjustment unit (31), the temperature-regulating fluid is adjusted so as to be at a temperature higher than the condensing temperature of the reactive component.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de traitement au plasma qui peut empêcher la condensation à l'intérieur d'une buse, évite des mauvais fonctionnements, tels que des courts-circuits, même si les composants réactifs du gaz de réaction ont tendance à se condenser. Un espace de décharge (13) est formé entre les électrodes d'une paire d'électrodes (11, 12) d'un dispositif de traitement au plasma (1), et un corps traité (9) est exposé au plasma. Une buse (20) est disposée près d'au moins une électrode de la paire d'électrodes (11, 12) ou près de l'espace de décharge (13). Un gaz de réaction contenant un composant réactif de condensation est pulvérisé par la buse (20) sur l'objet traité (9). La température de la buse (20) est réglée au moyen d'un moyen de réglage de température de buse (30). Un trajet de réglage de température (32) est formé à l'intérieur de la buse (20) et sert de moyen de réglage de température (30), et un fluide de régulation de température est amené à circuler à travers ledit trajet de réglage de température (32). Au moyen d'une unité de réglage de température de liquide (31), le fluide de régulation de température est régulé de manière à être à une température supérieure à la température de condensation du composant réactif.
(JA)【課題】反応ガスの反応成分が凝縮しやすい場合でも、ノズルの内部で凝縮するのを防止でき、かつ短絡等の不具合を回避できるプラズマ処理装置を提供する。 【解決手段】プラズマ処理装置1の一対の電極11,12の間に放電空間13を形成し、被処理物9にプラズマを照射する。ノズル20を、一対の電極11,12の少なくとも一方又は放電空間13の近傍に配置する。凝縮性の反応成分を含む反応ガスをノズル20から被処理物9に吹き付ける。ノズル温調手段30にてノズル20の温度を調節する。温調手段30として温調路32をノズル20内に形成し、温調液を流す。液温調節部31にて、温調液を反応成分の凝縮温度より高温になるよう調節する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)