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1. (WO2011118090) 力学量センサ及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/118090    国際出願番号:    PCT/JP2010/071722
国際公開日: 29.09.2011 国際出願日: 03.12.2010
IPC:
G01P 15/12 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), B81C 3/00 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), H01L 29/84 (2006.01)
出願人: DAI NIPPON PRINTING Co., Ltd. [JP/JP]; 1-1-1, Ichigaya Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo 1628001 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ASANO Masaaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YONEKAWA Tsukasa [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ASANO Masaaki; (JP).
YONEKAWA Tsukasa; (JP)
代理人: Takahashi, Hayashi and Partner Patent Attorneys, Inc.; Sonpo Japan Kamata Building 9F, 5-24-2 Kamata, Ota-ku, Tokyo 1440052 (JP)
優先権情報:
2010-071318 26.03.2010 JP
発明の名称: (EN) DYNAMIC QUANTITY SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) CAPTEUR DE QUANTITÉ DYNAMIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
(JA) 力学量センサ及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a dynamic quantity sensor that can be manufactured inexpensively and can detect the magnitude, direction, and acceleration of an outside force. Also disclosed is a method for manufacturing said dynamic quantity sensor. The disclosed dynamic quantity sensor is provided with: a first substrate; a fixed part disposed on top of the first substrate; a spiral-shaped movable electrode which is disposed at a separation from the first substrate and one end of which is supported by the fixed part; fixed electrodes disposed around the movable electrode in directions in which to detect dynamic quantities; a first terminal electrically connected to the fixed part, and a second terminal electrically connected to the fixed electrode.
(FR)L'invention concerne un capteur de quantité dynamique peu coûteux à fabriquer, pouvant détecter l'intensité, le sens et l'accélération d'une force externe. L'invention concerne également un procédé permettant de fabriquer ledit capteur de quantité dynamique. Le capteur de quantité dynamique selon l'invention comprend : un premier substrat ; une pièce fixe disposée au-dessus du premier substrat ; une électrode mobile en forme de spirale, qui est séparée du premier substrat par une séparation et dont une extrémité est supportée par la pièce fixe ; des électrodes fixes disposées autour de l'électrode mobile dans des directions permettant de détecter des quantités dynamiques ; une première borne électriquement connectée à la pièce fixe, et une seconde borne électriquement connectée à l'électrode fixe.
(JA)外力の大きさ及び方向並びに加速度を検出することができ、低コストに製造することのできる力学量センサ及びその製造方法を提供する。本発明の一実施形態に係る力学量センサは、第1基板と、前記第1基板上に配置された固定部と、前記固定部に一端部が支持されて前記第1基板から離隔して配置された渦巻き状の可動電極と、前記可動電極の周囲に位置し力学量の検出方向に配置された固定電極と、前記固定部に電気的に接続された第1端子と、前記固定電極に電気的に接続された第2端子と、を備えることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)