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1. (WO2011118006) 転写装置及び方法、並びにコンピュータプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/118006    国際出願番号:    PCT/JP2010/055249
国際公開日: 29.09.2011 国際出願日: 25.03.2010
IPC:
B29C 59/02 (2006.01), B29C 33/30 (2006.01), B29C 33/44 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), G11B 5/84 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
出願人: PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Shin-ogura, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120031 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IMAI, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IMAI, Tetsuya; (JP)
代理人: EGAMI, Tatsuo; c/o TOKYO CENTRAL PATENT FIRM, 3rd Floor, Oak Building Kyobashi, 16-10, Kyobashi 1-chome, Chuou-ku, Tokyo 1040031 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) TRANSFER APPARATUS AND METHOD, AND COMPUTER PROGRAM
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE TRANSFERT, ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) 転写装置及び方法、並びにコンピュータプログラム
要約: front page image
(EN)Disclosed is a transfer apparatus (1) which transfers a pattern formed on a mold (200a) to a subject to which the pattern is to be transferred (300). The transfer apparatus is provided with: mold holding means (154a, 153a) which hold the mold; subject holding means (120a, 120b) which hold the subject to which the pattern is to be transferred; mold-releasing means (104, 120a) which perform mold-releasing with respect to the adhered mold and the subject; and a cancel control means (102) which supplies cancel signals for cancelling holding of the subject to the mold holding means and/or the subject holding means in the case where mold-releasing is not completed.
(FR)La présente invention se rapporte à un appareil de transfert (1) qui transfère un motif formé sur un moule (200a) vers un objet sur lequel le motif doit être transféré (300). L'appareil de transfert comporte : des moyens de maintien de moule (154a, 153a) qui maintiennent le moule; des moyens de maintien d'objet (120a, 120b) qui maintiennent l'objet sur lequel le motif doit être transféré; des moyens de démoulage (104, 120a) qui effectuent un démoulage par rapport à l'objet et au moule adhérant; et un moyen de commande d'annulation (102) qui envoie des signaux d'annulation pour annuler le maintien de l'objet aux moyens de maintien de moule et/ou aux moyens de maintien d'objet dans le cas où le démoulage n'est pas terminé.
(JA)本発明の転写装置(1)は、モールド(200a)に形成されたパターンを被転写体(300)に転写する転写装置であって、モールドを保持するモールド保持手段(154a、153a)と、被転写体を保持する被転写体保持手段(120a、120b)と、密着させたモールド及び被転写体の離型を行なう離型手段(104、120a)と、離型が完了しない場合に、モールド保持手段及び被転写体保持手段の少なくとも一方に保持を解除するための解除信号を供給する解除制御手段(102)とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)