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World Intellectual Property Organization
1. (WO2011117943) 検査装置、及び検査方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/117943    国際出願番号:    PCT/JP2010/007000
国際公開日: 29.09.2011 国際出願日: 01.12.2010
G01N 27/24 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWAGUCHI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NOGUCHI, Minori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AIKO, Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MAKUUCHI, Masami [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWAGUCHI, Hiroshi; (JP).
NOGUCHI, Minori; (JP).
AIKO, Kenji; (JP).
MAKUUCHI, Masami; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
2010-069114 25.03.2010 JP
(JA) 検査装置、及び検査方法
要約: front page image
(EN)Conventionally, the only way to detect smaller foreign bodies was to increase voltage, but discharges could result in the destruction of the object inspected. Further, by raising the transition speed of the magnetic resistance body in order to detect smaller foreign bodies, the response speed of the magnetic impedance sensor could be exceeded, making detection impossible. In order to overcome these problems, the disclosed inspection device is provided with a first electrode and a second electrode disposed on either side of the inspection target, a power source connected to the aforementioned first electrode, a conveyance speed control unit for controlling the conveyance speed of the aforementioned inspection target, a current detection unit which, connected to the aforementioned second electrode, detects currents generated by changes in the static capacitance formed between the aforementioned first electrode and the aforementioned second electrode, and a defect detection unit which detects defects on the basis of the aforementioned current. Furthermore, the aforementioned second electrode rotates in the direction opposite of the conveyance direction of the aforementioned inspection target. Furthermore, the aforementioned power source comprises a DC or an AC power source.
(FR)De façon classique, la seule manière de détecter de petits corps étrangers était d'augmenter la tension, mais les décharges pouvaient entraîner la destruction de l'objet à inspecter. En outre, l'élévation de la vitesse de transition du corps à résistance magnétique afin de détecter de petits corps étrangers, pourrait entraîner un dépassement de la vitesse de réponse du capteur d'impédance magnétique rendant la détection impossible. Afin de résoudre ces problèmes, l'invention concerne un dispositif d'inspection comprenant une première électrode et une seconde électrode disposées de part et d'autre de la cible d'inspection, une source de puissance connectée à la première électrode, une unité de commande de vitesse de transport pour commander la vitesse de transport de la cible d'inspection, une unité de détection de courant connectée à la seconde électrode, détectant des courants générés par des changements de la capacité statique formée entre la première et la seconde électrodes, et une unité de détection de défauts détectant des défauts en fonction du courant précité. De plus, la seconde électrode tourne dans une direction opposée de la direction de transport de la cible d'inspection. La source de puissance comprend une source de courant DD ou CA.
(JA) 先行技術では、より微小な異物を検出するためには電圧を上げるしか手段が無く、放電による検査対象を破壊する可能性がある。また、より微小な異物を検出するために磁気抵抗体の移動速度を上げると、磁気インピーダンスセンサの応答速度を越えてしまい、検出できない課題があった。 本発明は、上記目的を達成するために、検査対象を挟むように配置された第1の電極及び、第2の電極と、前記第1の電極に接続された電源と、前記検査対象の搬送速度を制御する搬送速度制御部と、前記第2の電極に接続され、前記第1の電極と前記第2の電極との間に形成された静電容量の変化により生じた電流を検出する電流検出部と、前記電流に基づき欠陥を検出する欠陥検出部と、を有する。更に本発明は、前記検査対象の搬送方向とは逆方向に回転する前記第2の電極を有する。更に本発明は、前記電源に直流もしくは交流電源を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)