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1. (WO2011115294) 炭化珪素用電極、炭化珪素半導体素子、炭化珪素半導体装置および炭化珪素用電極の形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/115294    国際出願番号:    PCT/JP2011/057061
国際公開日: 22.09.2011 国際出願日: 16.03.2011
IPC:
H01L 21/28 (2006.01), H01L 29/47 (2006.01), H01L 29/861 (2006.01), H01L 29/872 (2006.01)
出願人: Advanced Interconnect Materials, LLC [JP/JP]; 6-6-40-402, Aza-aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9800845 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOIKE Junichi; (JP) (米国のみ).
JUNG Kunhwa; (JP) (米国のみ).
SUTOU Yuji; (JP) (米国のみ).
SHIBATOMI Akihiro; (JP) (米国のみ)
発明者: KOIKE Junichi; (JP).
JUNG Kunhwa; (JP).
SUTOU Yuji; (JP).
SHIBATOMI Akihiro; (JP)
代理人: FUKUDA Kenzo; Kashiwaya Bldg., 6-13, Nishishinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2010-059827 16.03.2010 JP
発明の名称: (EN) SILICON CARBIDE ELECTRODE, SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR ELEMENT, SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE, AND METHOD FOR FORMING ELECTRODE FOR SILICON CARBIDE
(FR) ÉLECTRODE EN CARBURE DE SILICIUM, ÉLÉMENT SEMI-CONDUCTEUR EN CARBURE DE SILICIUM, DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR EN CARBURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ POUR LA FORMATION D'UNE ÉLECTRODE À PARTIR DE CARBURE DE SILICIUM
(JA) 炭化珪素用電極、炭化珪素半導体素子、炭化珪素半導体装置および炭化珪素用電極の形成方法
要約: front page image
(EN)It is possible to strengthen the adhesiveness with a silicon carbide layer by inhibiting the generation of carbon clusters which attenuate the adhesiveness with a silicon carbide layer, and it is possible to reduce the conduction resistance of an electrode by preventing the nitrogen contained in the silicon carbide from being sucked in. Disclosed is a silicon carbide electrode (1) which is provided with: a silicide region (3) which is disposed on the surface of a silicon carbide layer (2) and which contains a greater amount of a silicide of a first metal than a carbide of a second metal having a carbide formation free energy that is smaller than silicon; and a carbide region (4) which is disposed on the silicide region and which contains a greater amount of the carbide of a second metal than the silicide of a first metal.
(FR)Il est possible de renforcer l'adhésivité avec une couche de carbure de silicium par inhibition de la formation d'agrégats de carbone qui atténuent l'adhésivité avec une couche de carbure de silicium et il est possible de réduire la résistance à la conduction d'une électrode en empêchant l'azote contenu dans le carbure de silicium d'être absorbé. L'invention porte sur une électrode (1) en carbure de silicium qui est dotée de : une région de siliciure (3) qui est disposée sur la surface d'une couche de carbure de silicium (2) et qui contient une plus grande quantité d'un siliciure d'un premier métal que d'un carbure d'un second métal ayant une énergie libre de formation de carbure qui est plus petite que celle du silicium ; et une région de carbure (4) qui est disposée sur la région de siliciure et qui contient une plus grande quantité du carbure d'un second métal que du siliciure d'un premier métal.
(JA) 炭化珪素層との密着性を弱める炭素クラスターなどの生成を抑制して炭化珪素層との密着性を強めることができ、また炭化珪素層に含有された窒素を引き込むのを抑制して電極の通流抵抗を低減することができるようにする。 本発明の炭化珪素用電極(1)は、炭化珪素層(2)の表面に接して設けられ、第1の金属の珪化物を、珪素より炭化物形成自由エネルギーが小さい第2の金属の炭化物より多量に含む珪化物領域(3)と、その珪化物領域上に設けられ、第2の金属の炭化物を第1の金属の珪化物より多量に含む炭化物領域(4)と、を備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)