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1. (WO2011115217) 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/115217    国際出願番号:    PCT/JP2011/056414
国際公開日: 22.09.2011 国際出願日: 17.03.2011
IPC:
G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/039 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 9-2, Higashi-Shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058640 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SATO Mitsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SATO Mitsuo; (JP)
代理人: AMANO Kazunori; c/o Amano & Partners, 6th Floor, Fujikogyo-Nishimotomachi Building, 1-18, Aioi-cho 1-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500025 (JP)
優先権情報:
2010-061699 17.03.2010 JP
発明の名称: (EN) RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND RESIST PATTERN FORMATION METHOD
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE SENSIBLE AUX RADIATIONS ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN MOTIF RÉSISTANT
(JA) 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a radiation-sensitive resin composition comprising a polymer (A) that will serve as a base resin, a radiation-sensitive acid generator (B), a polymer (C) comprising fluorine atoms, and a low molecular weight compound (D) with a relative permittivity in the range of 30 to 200 and a boiling point of at least 100°C at 1 atm, wherein the content of the aforementioned low molecular weight compound (D) is in the range of 10 parts by mass to 500 parts by mass per 100 parts by mass of the aforementioned polymer (A). A cyclic carbonate compound or a nitrile compound is preferably included as the aforementioned low molecular weight compound (D). The content of the aforementioned polymer (C) is preferably in the range of 0.1 parts by mass to 5 parts by mass per 100 parts by mass of the aforementioned polymer (A).
(FR)L'invention concerne une composition de résine sensible aux radiations comprenant un polymère (A) qui servira de résine de base, un générateur d'acide sensible aux radiations (B), un polymère (C) comprenant des atomes de fluor, et un composé à faible poids moléculaire (D) dont la permittivité relative est comprise entre 30 et 200 et dont le point d'ébullition est d'au moins 100 °C à 1 atm, le contenu du composé à faible poids moléculaire (D) susmentionné étant compris entre 10 parties en masse et 500 parties en masse pour 100 parties en masse du polymère (A) susmentionné. Un compose carbonate cyclique ou un composé nitrile est de préférence compris comme étant le composé à faible poids moléculaire (D) susmentionné. La teneur en le polymère (C) susmentionné est de préférence comprise entre 0,1 partie en masse et 5 parties en masse pour 100 parties en masse du polymère (A) susmentionné.
(JA) ベース樹脂となる重合体(A)、感放射線性酸発生剤(B)、フッ素原子を含む重合体(C)、及び比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)を含有し、前記低分子化合物(D)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、10質量部以上500質量部以下である感放射線性樹脂組成物である。前記低分子化合物(D)として環状カーボネート化合物またはニトリル化合物を含むとよい。前記重合体(C)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、0.1質量部以上5質量部以下であるとよい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)