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1. (WO2011114939) 高さ測定方法、高さ測定用プログラム、高さ測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/114939    国際出願番号:    PCT/JP2011/055318
国際公開日: 22.09.2011 国際出願日: 08.03.2011
IPC:
G01B 11/02 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI, Yasuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAGUCHI, Masaya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI, Yasuo; (JP).
YAMAGUCHI, Masaya; (JP)
代理人: INOUE, Yoshio; 3F, Garoh Bldg., 1-4, Nihonbashi 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030027 (JP)
優先権情報:
2010-059625 16.03.2010 JP
発明の名称: (EN) HEIGHT MEASUREMENT METHOD, PROGRAM FOR MEASURING HEIGHT, AND HEIGHT MEASUREMENT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DE LA HAUTEUR, PROGRAMME DE MESURE DE LA HAUTEUR, ET DISPOSITIF DE MESURE DE LA HAUTEUR
(JA) 高さ測定方法、高さ測定用プログラム、高さ測定装置
要約: front page image
(EN)Disclosed are a height measurement method, height measurement program, and height measurement device that illuminate a specimen with an epi-illumination device or project a projection pattern on the specimen, scan from the light axis direction, image the specimen or the projected pattern using an imaging device of an image forming optical system, and consider the position at which the focusing measurement value in the imaging device becomes the greatest to be a surface position of the subject and acquire a height value. The height measurement method, program and device determine ahead of time a height correction value, which corresponds to the inclination angle of the specimen surface, as an angle correction value, determine the inclination angle of the specimen surface corresponding to each pixel position from the height value determined for each pixel of the imaging device, determine from the angle correction value the height correction value corresponding to the determined inclination angle, and using the determined height correction value, correct the height value of the surface of the specimen corresponding to each pixel.
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure de la hauteur, un programme de mesure de la hauteur, et un dispositif de mesure de la hauteur qui illuminent un spécimen au moyen d'un dispositif d'épi-illumination ou qui projettent un motif de projection sur le spécimen, qui balayent en provenance de la direction de l'axe de la lumière, qui imagent le spécimen ou le motif projeté en utilisant un dispositif imageur d'un système optique formant des images, et qui considèrent la position à laquelle la valeur de mesure de focalisation dans le dispositif imageur devient la plus grande pour être une position de surface du sujet et acquérir une valeur de hauteur. Le procédé, le programme et le dispositif de mesure de la hauteur déterminent à l'avance une valeur de correction de hauteur, qui correspond à l'angle d'inclinaison de la surface du spécimen, sous la forme d'une valeur de correction d'angle, déterminent l'angle d'inclinaison de la surface du spécimen correspondant à la position de chaque pixel d'après la valeur de hauteur déterminée pour chaque pixel du dispositif imageur, déterminent d'après la valeur de correction d'angle la valeur de correction de hauteur correspondant à l'angle d'inclinaison déterminé, et en utilisant la valeur de correction de hauteur déterminée, corrigent la valeur de hauteur de la surface du spécimen correspondant à chaque pixel.
(JA) 落射照明装置で被検物を照明または被検物に投影パターンを投影し、光軸方向にスキャンして被検物または投影パターンを結像光学系の撮像装置で撮像し、撮像装置における合焦測度値が最大となる位置を被検物の表面位置として高さ値を取得する高さ測定方法、高さ測定プログラムおよび高さ測定装置である。この高さ測定方法、プログラムおよび装置は被検物表面の傾斜角度に応じた高さ補正値を角度補正値として予め求め、撮像装置の各画素の求めた高さ値から各画素位置に対応する被検物表面の傾斜角度を求め、求められた傾斜角度に対応する高さ補正値を角度補正値から求め、求められた高さ補正値を用いて各画素に対応する被検物の表面の高さ値を補正する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)