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1. (WO2011114889) 極端紫外光光源装置および集光光学手段の位置調整方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/114889    国際出願番号:    PCT/JP2011/054762
国際公開日: 22.09.2011 国際出願日: 02.03.2011
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
出願人: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2-6-1,Ote-machi,Chiyoda-ku Tokyo 1008150 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMATANI Daiki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMATANI Daiki; (JP)
代理人: NAGASAWA Shunichirou; Room 4A,Kisuna Bldg.,23-3, Nishi-nippori 4-chome, Arakawa-ku, Tokyo 1160013 (JP)
優先権情報:
2010-064022 19.03.2010 JP
発明の名称: (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE AND LOCATION ADJUSTMENT METHOD FOR LIGHT FOCUSING OPTICAL MEANS
(FR) DISPOSITIF DE SOURCE LUMINEUSE À RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME ET PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE LOCALISATION DESTINÉ À UN MOYEN OPTIQUE DE CONCENTRATION DE LUMIÈRE
(JA) 極端紫外光光源装置および集光光学手段の位置調整方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is an extreme ultraviolet light source device capable of adjusting the location of a light focusing mirror in order to achieve uniform angle distribution properties in a short period of time. Non-uniform angle distribution properties image data, and the movement direction and movement amount of the light focusing mirror required to adjust the non-uniform angle distribution properties to uniform angle distribution properties, are recorded in a distribution database (10a) in a controller (10). After obtaining the angle distribution image data from an angle distribution properties measurement apparatus (12), the angle distribution properties image data is compared to the images recorded in the distribution database (10a), and of the angle distribution properties image data, the image data is chosen that matches most closely with the obtained current angle distribution properties. Then, based on data retrieved for the movement direction and movement amount of the light focusing mirror (6) required for adjustment to the recorded uniform angle distribution properties that are associated with the chosen image data, the light focusing mirror (6) is moved by a light focusing mirror movement means (11).
(FR)La présente invention a trait à un dispositif de source lumineuse à rayonnement ultraviolet extrême conçu de manière à ajuster la localisation d'un miroir concentrateur de lumière afin d'obtenir des propriétés de distribution d'angle uniforme sur une courte durée. Les données image de propriétés de distribution d'angle non uniforme et la direction de déplacement ainsi que la quantité de déplacement du miroir concentrateur de lumière requis en vue d'ajuster les propriétés de distribution d'angle non uniforme pour obtenir des propriétés de distribution d'angle uniforme, sont enregistrées dans une base de données de distribution (10a) d'un organe de commande (10). Après avoir obtenu les données image de distribution d'angle au moyen d'un appareil de mesure de propriétés de distribution d'angle (12), les données image de propriétés de distribution d'angle sont comparées aux images enregistrées dans la base de données de distribution (10a), et parmi les données image de propriétés de distribution d'angle, les données image sont choisies de manière à ce qu'elles correspondent au mieux aux propriétés de distribution d'angle réelles obtenues. Par la suite, en fonction des données récupérées pour la direction de déplacement et la quantité de déplacement du miroir concentrateur de lumière (6) requis en vue de procéder à un ajustement par rapport aux propriétés de distribution d'angle uniforme enregistrées qui sont associées aux données image choisies, le miroir concentrateur de lumière (6) est déplacé par l'intermédiaire d'un moyen de déplacement de miroir concentrateur de lumière (11).
(JA)極端紫外光光源装置において、均一な角度分布特性を得るための集光鏡の位置調整を、短時間で行うことができるようにすること。 制御部10の分布データベース10aに、不均一な角度分布特性画像データと、この不均一な角度分布特性を均一な角度分布特性にするための集光鏡の移動方向および移動量と登録しておく。角度分布特性測定器12により、角度分布画像データを取得したら、この角度分布特性画像データを、分布データベース10aに登録された画像と比較し、角度分布特性画像データの中から、取得した現在の角度分布特性と最もよく一致する画像データを選ぶ。そして、選び出した画像データに対応づけて記憶されている、均一な角度分布特性にするための集光鏡6の移動方向および移動量のデータを読み出し、これに基づいて、集光鏡移動手段11により、集光鏡6を移動させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)