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1. (WO2011114449) TFTアレイ検査方法およびTFTアレイ検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/114449    国際出願番号:    PCT/JP2010/054523
国際公開日: 22.09.2011 国際出願日: 17.03.2010
IPC:
G01N 23/225 (2006.01), G01R 31/00 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), G09F 9/00 (2006.01), H01L 29/786 (2006.01)
出願人: SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi Kyoto 6048511 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAGAI, Masamichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAGAI, Masamichi; (JP)
代理人: SHIONOIRI, Akio; Fujisawa-Central Bldg. 6F, 1-4, Kugenuma-Tachibana 1-chome, Fujisawa-shi, Kanagawa 2510024 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) TFT ARRAY INSPECTION METHOD AND TFT ARRAY INSPECTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE GRILLES À TRANSISTORS EN COUCHES MINCES (TFT)
(JA) TFTアレイ検査方法およびTFTアレイ検査装置
要約: front page image
(EN)Provided is an arrangement equipped with a detection process wherein signal strengths at sampling points on panels are detected by emitting charged beams; a binarization process wherein those signal strengths at sampling points which are detected in the detection process are binarized, thereby obtaining binarized images; a comparison process wherein shapes included in binarized images obtained in the binarization process are regarded as shapes to be compared, and wherein the aforementioned shapes to be compared are compared with preliminarily registered shapes, thereby performing comparisons; and a defect determination process wherein, from comparison results in the comparison process, it is determined whether registered shapes are included in compared shapes, wherein if at least one registered shape is included in the compared shapes, it is determined that the pixels which include the aforementioned compared shapes are defective, and wherein if none of the registered shapes whatsoever are included in the compared shapes, it is determined that the pixels which include the aforementioned compared shapes are normal. In the aforementioned arrangement, without being affected by noise contents added to detected signals, defects are detected, thereby conducting array inspection.
(FR)L'invention concerne un agencement reposant sur un processus de détection qui, grâce à l'émission de faisceaux à charge, permet de détecter des intensités de signaux au niveau de certains points d'échantillonnage sur des panneaux ; sur un processus de binarisation pour binariser les intensités de signaux constatées aux points d'échantillonnage et qui ont été détectées lors du processus de détection, ce qui permet ainsi d'obtenir des images binarisées ; sur un processus de comparaison dans lequel des formes inhérentes aux images binarisées obtenues lors du processus de binarisation sont considérées comme des formes à comparer, et dans lequel lesdites formes à comparer sont comparées à des formes qui ont été enregistrées au préalable, ce qui permet de faire des comparaisons ; et sur un processus de détermination de défauts dans lequel il est déterminé, à partir des résultats du processus de comparaison, si des formes enregistrées font partie de formes comparées, dans lequel, si l'une au moins des formes enregistrées est incluse dans les formes comparées, il est déterminé que les pixels dont les formes comparées précitées font partie sont défectueux, et dans lequel, si aucune des formes enregistrées n'est incluse dans les formes comparées, il est déterminé que les pixels dont les formes comparées précitées font partie sont normaux. L'agencement, décrit dans la présente invention, permet d'effectuer une détection des défauts qui n'est pas affectée par les effets de bruit ajoutés aux signaux détectés, et procure ainsi une inspection des grilles.
(JA)荷電ビームの照射によってパネル上のサンプリング点の信号強度を検出する検出工程と、検出工程で検出したサンプリング点の信号強度を2値化して2値化画像を求める2値化工程と、2値化工程で求めた2値化画像に含まれる形状を照合対象形状とし、この照合対象形状と予め登録しておいた登録形状との形状を比較して照合を行う照合工程と、照合工程の照合結果により、照合対象形状の中に登録形状が含まれるか否かを判別し、照合対象形状の中に、登録形状が少なくとも一つ含まれている場合に当該照合対象形状を含むピクセルを欠陥と判別し、照合対象形状の中に、登録された全ての登録形状の何れの登録形状も含まれていない場合に照合対象形状を含むピクセルを正常と判別する欠陥判別工程とを備え、検出信号に付加されるノイズ分に影響されることなく欠陥ピクセルを検出してアレイ検査を行う。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)