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1. (WO2011114407) 波面収差測定方法及びその装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/114407    国際出願番号:    PCT/JP2010/007178
国際公開日: 22.09.2011 国際出願日: 10.12.2010
IPC:
G01M 11/02 (2006.01), G01N 21/84 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HARIYAMA, Tatsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOSHIDA, Minoru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOSHITAKE, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HARIYAMA, Tatsuo; (JP).
YOSHIDA, Minoru; (JP).
YOSHITAKE, Yasuhiro; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD. 6-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
2010-061778 18.03.2010 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR MEASURING WAVEFRONT ABERRATION AND DEVICE OF SAME
(FR) PROCÉDÉ POUR MESURER UNE ABERRATION DE FRONT D'ONDE ET DISPOSITIF POUR CELUI-CI
(JA) 波面収差測定方法及びその装置
要約: front page image
(EN)Since the pupil diameter of the objective lens used for a semiconductor inspection device or a laser machining device sometimes exceeds the field of view detected by a Shack-Hartmann sensor, the aberration of the whole pupil cannot be measured by a single image-pickup. In order to measure the aberration of the whole pupil, the large field of view is detected by scanning the Shack-Hartmann sensor.
(FR)Comme le diamètre de pupille de la lentille d'objectif utilisée pour un dispositif d'inspection de semi-conducteurs ou un dispositif d'usinage à laser dépasse parfois le champ de vision détecté par un capteur de Shack-Hartmann, l'aberration de l'ensemble de la pupille ne peut pas être mesurée par une unique prise d'image. Selon l'invention, pour mesurer l'aberration de la totalité de la pupille, le grand champ de vision est détecté par la réalisation d'un balayage du capteur de Shack-Hartmann.
(JA) 半導体検査装置やレーザ加工装置に用いられる対物レンズの瞳径は、シャックハルトマンセンサの検出視野を超える場合があるので、1回の撮像では瞳全体の収差を測定することはできない。 瞳全体の収差を測定するために、シャックハルトマンセンサを走査することによって、大視野検出を行う。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)