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1. (WO2011111815) 光硬化性転写シートを用いた凹凸パターンの形成方法、及びその方法に用いる装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111815    国際出願番号:    PCT/JP2011/055754
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 11.03.2011
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), B81C 99/00 (2010.01)
出願人: BRIDGESTONE CORPORATION [JP/JP]; 10-1, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1048340 (JP) (米国を除く全ての指定国).
INAMIYA Takato [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HASHIMOTO Masashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAIDA Eizou [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: INAMIYA Takato; (JP).
HASHIMOTO Masashi; (JP).
KAIDA Eizou; (JP)
代理人: ETOH Toshiaki; Showa Bldg., 9F, 8-18, Kyobashi 2-chome, Chuo-ku Tokyo 1040031 (JP)
優先権情報:
2010-055379 12.03.2010 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMATION OF CONCAVE-CONVEX PATTERN USING PHOTOCURABLE TRANSCRIPTION SHEET, AND DEVICE FOR USE IN THE METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE STRUCTURE CONCAVE-CONVEXE UTILISANT UNE FEUILLE DE TRANSCRIPTION PHOTODURCISSABLE ET DISPOSITIF À UTILISER DANS LE PROCÉDÉ
(JA) 光硬化性転写シートを用いた凹凸パターンの形成方法、及びその方法に用いる装置
要約: front page image
(EN)Disclosed are: a method for forming a fine concave-convex pattern on a photocurable resin by a nano imprinting process method using an intermediate stamper, wherein the releasability between the intermediate stamper and the photocurable resin having the fine concave-convex pattern transferred thereon is improved; and a device which can be used for the method. Specifically disclosed is a method for forming a concave-convex pattern, which comprises a step of transferring a fine concave-convex pattern formed on the surface of a mold (34) onto a transfer layer (31) that is formed in a photocurable transfer sheet (30) and is composed of a photocurable composition capable of being deformed by pressurization to form a fine inverted concave-convex pattern on the transfer layer (31) and a step of transferring the resulting inverted concave-convex pattern onto a photocurable resin layer (41) that is formed on a substrate (40) and is composed of a photocurable resin composition to thereby form the same concave-convex pattern as that formed on the mold (34) on the photocurable resin layer (41). The method is characterized in that the transfer layer (31c) having the inverted concave-convex pattern formed thereon is subjected to a UV ozone treatment.
(FR)La présente invention concerne un procédé destiné à former une structure fine concave-convexe sur une résine photodurcissable par un procédé de nano impression utilisant une matrice de pressage intermédiaire, dans lequel la cessibilité entre la matrice de pressage intermédiaire et la résine photodurcissable ayant la structure fine concave-convexe transférée sur celle-ci est améliorée ; et un dispositif qui peut être utilisé pour le procédé. La présente invention concerne spécifiquement un procédé destiné à former une structure concave-convexe qui comprend une étape de transfert d'une structure fine concave-convexe formée sur la surface d'un moule (34) sur une couche de transfert (31) qui est constituée dans une feuille de transfert photodurcissable (30) et se compose d'une composition photodurcissable capable d'être déformée par pressurisation afin de former une structure fine concave-convexe inversée sur la couche de transfert (31) et une étape de transfert de la structure concave-convexe inversée résultante sur une couche de résine photodurcissable (41) qui est formée sur un substrat (40) et se compose d'une composition en résine photodurcissable pour former ainsi la même structure concave-convexe que celle formée sur le moule (34) sur la couche de résine photodurcissable (41). Le procédé est caractérisé en ce que la couche de transfert (31c) ayant la structure concave-convexe inversée formée sur celle-ci est soumise à un traitement à l'ozone/aux UV.
(JA) ナノインプリントプロセス法において、中間スタンパを用いて光硬化性樹脂に微細な凹凸パターンを形成する方法であって、その中間スタンパと、微細な凹凸パターンが転写された光硬化性樹脂との離型性が向上された方法及びそれに用いる装置を提供する。 加圧により変形可能な光硬化性組成物からなる光硬化性転写層31を有する光硬化性転写シート30の転写層31に、表面に微細な凹凸パターンを有する金型34の当該凹凸パターンを転写し、転写層31に微細な反転凹凸パターンを形成する工程、及び前記反転凹凸パターンを基板40上に形成された光硬化性樹脂組成物からなる光硬化性樹脂層41に転写し、光硬化性樹脂層41に金型34と同一の凹凸パターンを形成する工程、を含む凹凸パターンの形成方法において、前記反転凹凸パターンが形成された転写層31cに対してUVオゾン処理を行うことを特徴とする凹凸パターンの形成方法。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)