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1. (WO2011111659) 加熱装置及びアニール装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111659    国際出願番号:    PCT/JP2011/055260
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 07.03.2011
IPC:
H01L 21/26 (2006.01), C23C 4/10 (2006.01), C23C 14/50 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01), C23C 16/46 (2006.01), H01L 21/265 (2006.01), H01L 33/64 (2010.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI Tomohiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OOYA Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YONEDA Masatake [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI Tomohiro; (JP).
OOYA Kazuhiro; (JP).
YONEDA Masatake; (JP)
代理人: KATSUNUMA Hirohito; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2010-052421 09.03.2010 JP
発明の名称: (EN) HEATING APPARATUS AND ANNEALING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE CHAUFFAGE ET APPAREIL DE RECUISSON
(JA) 加熱装置及びアニール装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a heating apparatus which is provided with an LED module (54) that has: a heat dissipating substrate (72) which is composed of a metal; an insulating layer (74) which is directly formed on the heat dissipating substrate; a plurality of wiring elements (76) which are arranged on the insulating layer and form a wiring pattern; a plurality of LED elements (70) which are provided on the wiring elements, respectively; and a metal wiring line (82) which electrically connects the adjacent LED elements to each other in series. With such configuration, heat of the LED elements can be uniformly and efficiently dissipated.
(FR)L'invention concerne un appareil de chauffage qui comporte un module à DEL (54) qui comprend : un substrat dissipateur de chaleur (72) qui est composé d'un métal ; une couche isolante (74) qui est formée directement sur le substrat dissipateur de chaleur ; une pluralité d'éléments de circuit (76) qui sont agencés sur la couche isolante et forment un motif de circuit ; une pluralité d'éléments de DEL (70) qui sont disposés sur les éléments de circuit, respectivement ; et une ligne de circuit en métal (82) qui connecte électriquement les éléments de DEL adjacents entre eux en série. Avec une telle configuration, la chaleur des éléments de DEL peut être dissipée uniformément et efficacement.
(JA) 加熱装置は、金属製の放熱基板72と、放熱基板上に直接的に形成された絶縁層74と、絶縁層上に配列されて配線パターンをなす複数の配線要素76と、複数の各配線要素上にそれぞれ設けられた複数のLED素子70と、隣り合うLED素子間を電気的に直列に接続する金属配線82とを有するLEDモジュール54とを備える。この構成により、LED素子の放熱を均一に且つ効率的に行うことが可能となる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)