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1. (WO2011111641) 感放射線性樹脂組成物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111641    国際出願番号:    PCT/JP2011/055147
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 04.03.2011
IPC:
G03F 7/039 (2006.01), C08F 220/26 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 9-2, Higashi-Shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058640 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OIZUMI Yoshifumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ASANO Yusuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SOYANO Akimasa [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OIZUMI Yoshifumi; (JP).
ASANO Yusuke; (JP).
SOYANO Akimasa; (JP)
代理人: AMANO Kazunori; c/o Amano & Partners, 6th Floor, Fujikogyo-Nishimotomachi Building, 1-18, Aioi-cho 1-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500025 (JP)
優先権情報:
2010-051496 09.03.2010 JP
発明の名称: (EN) RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE SENSIBLE AUX RAYONNEMENTS
(JA) 感放射線性樹脂組成物
要約: front page image
(EN)Disclosed is a radiation-sensitive resin composition which contains (A) a polymer that contains a structural unit represented by formula (1), a structural unit represented by formula (2), and at least one structural unit selected from the group consisting of structural units each having a lactone structure and structural units each having a cyclic carbonate structure, and (B) a radiation-sensitive acid generator. The structural units each having a lactone structure and the structural units each having a cyclic carbonate structure are preferably structural units represented by formula (3).
(FR)L'invention concerne une composition de résine sensible aux rayonnements qui contient (A) un polymère contenant une unité structurelle correspondant à la formule (1), une unité structurelle correspondant à la formule (2), et au moins une unité structurelle choisie dans le groupe comprenant des unités structurelles possédant chacune une structure lactone et des unités structurelles possédant chacune une structure carbonate cyclique, et (B) un générateur d'acide sensible aux rayonnements. Les unités structurelles possédant chacune une structure lactone et les unités structurelles possédant chacune une structure carbonate cyclique sont de préférence des unités structurelles correspondant à la formule (3).
(JA) [A]下記式(1)で表される構造単位及び下記式(2)で表される構造単位と、ラクトン構造を有する構造単位及び環状カーボネート構造を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位とを含む重合体、並びに[B]感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物である。上記ラクトン構造を有する構造単位及び環状カーボネート構造を有する構造単位は、下記式(3)で表される構造単位であることが好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)