WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2011111626) 表面処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111626    国際出願番号:    PCT/JP2011/055091
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 04.03.2011
IPC:
H05H 1/24 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), G02B 5/30 (2006.01)
出願人: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. [JP/JP]; 4-4, Nishitemma 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5308565 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NOGAMI Mitsuhide [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKANO Yoshinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SATOH Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAWASAKI Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YARA Takuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NOGAMI Mitsuhide; (JP).
NAKANO Yoshinori; (JP).
SATOH Takashi; (JP).
KAWASAKI Shinichi; (JP).
YARA Takuya; (JP)
代理人: WATANABE Noboru; 3rd Floor, Gobancho KU Building, 10 Gobancho, Chiyoda-ku Tokyo 1020076 (JP)
優先権情報:
2010-050219 08.03.2010 JP
発明の名称: (EN) SURFACE TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SURFACE
(JA) 表面処理装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a surface treatment device which sufficiently prevents leakage of treatment gas components from a treatment apparatus to the outside, without increasing the size of the exhaust ventilation means of the treatment apparatus. The device conveys a material to be treated (9) by a conveying means (20) in a conveying direction so as to pass through a treatment area (19) of a main chamber (31) of a treatment apparatus (30). An auxiliary chamber (33) is provided in at least the conveying exit side of the main chamber (31) in the treatment apparatus (30). Normally open apertures (37a, 36a) which allow the material to be treated (9) to be conveyed in and out are formed in the dividing wall (37) that divides the chambers and in the outer wall (36). A main chamber exhaust ventilation means (40) is connected to the main chamber (31), and lowers the pressure inside the main chamber (31) below the pressure outside the apparatus. An auxiliary chamber air supply means (52) is connected to and supplies air to the auxiliary chamber (33), and raises the pressure inside the auxiliary chamber (33) above the pressure outside the apparatus.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de traitement de surface qui empêche suffisamment les fuites de composants gazeux de traitement à partir d'un appareil de traitement vers l'extérieur, sans augmenter la taille des moyens de ventilation d'échappement de l'appareil de traitement. Le dispositif transporte un matériau destiné à être traité (9) par l'intermédiaire d'un moyen de transport (20) dans une direction de transport afin de passer à travers une zone de traitement (19) d'une chambre principale (31) d'un appareil de traitement (30). Une chambre auxiliaire (33) est prévue au moins dans le côté de sortie de transport de la chambre principale (31) dans l'appareil de traitement (30). Des ouvertures normalement ouvertes (37a, 36a) qui permettent au matériau destiné à être traité (9) d'être transporté à l'intérieur et à l'extérieur sont formées dans la paroi de séparation (37) qui sépare les chambres et dans la paroi extérieure (36). Un moyen de ventilation d'échappement de chambre principale (40) est raccordé à la chambre principale (31), et réduit la pression à l'intérieur de la chambre principale (31) pour qu'elle soit inférieure à la pression à l'extérieur de l'appareil. Un moyen d'alimentation en air de chambre auxiliaire (52) est raccordé et fournit de l'air à la chambre auxiliaire (33), et augmente la pression à l'intérieur de la chambre auxiliaire (33) pour qu'elle soit supérieure à la pression à l'extérieur de l'appareil.
(JA) 処理槽の排気手段を大型化しなくても処理ガス成分が処理槽から外部に漏出するのを十分に抑制できる表面処理装置を提供する。 被処理物9を、搬送手段20によって処理槽30の主室31内の処理領域19を通過するように搬送方向に搬送する。処理槽30には、主室31の少なくとも搬出側に副室33を設ける。これら室を仕切る仕切壁37及び外壁36に被処理物9を搬入出可能な常開の開口37a,36aを形成する。主室排気手段40を主室31に接続し、主室31の内圧を槽外の圧力より低くする。副室給気手段52を副室33に接続して給気し、副室33の内圧を槽外の圧力より高くする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)