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1. (WO2011111540) 物理量センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111540    国際出願番号:    PCT/JP2011/054114
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 24.02.2011
IPC:
G01P 15/125 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
出願人: ALPS ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MIYATAKE, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKAHASHI, Toru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOBAYASHI, Toshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UTO, Yoshitaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAZAWA, Hisayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKAWA, Hisanobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MIYATAKE, Akira; (JP).
TAKAHASHI, Toru; (JP).
KOBAYASHI, Toshihiro; (JP).
UTO, Yoshitaka; (JP).
YAZAWA, Hisayuki; (JP).
OKAWA, Hisanobu; (JP)
代理人: NOZAKI, Teruo; Oak Ikebukuro Building 3F, 1-21-11 Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
優先権情報:
2010-050948 08.03.2010 JP
発明の名称: (EN) PHYSICAL QUANTITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE GRANDEUR PHYSIQUE
(JA) 物理量センサ
要約: front page image
(EN)Disclosed is a physical quantity sensor that can control electrical shorts particularly between a mobile section (mobile electrode) and a fixed electrode layer. The sensor comprises: a substrate having an anchor section (29) and a mobile section (34) that is supported by the anchor section with a spring section therebetween in a manner so as to be displaceable in the height direction; a facing section (20) that faces the substrate in the height direction and affixes/supports the anchor section, and that faces the mobile section leaving a gap therebetween in the height direction; a projecting section (23) the surface of which, along with the fixed electrode layer (28) formed on the surface of the facing section, is a stopper surface with respect to the mobile section; a fixed support section (22) provided to the surface of the facing section; and a joining section (26) comprising metal layers that join between the fixed support section and the anchor section. The projecting section (23) protrudes from the surface of the facing section (20), and the fixed electrode layer (28) is disposed at the surface of the indented facing section. The surface of the projecting section (23) protrudes more in the height direction than the surface of the fixed electrode layer (28) does.
(FR)L'invention porte sur un capteur de grandeur physique qui peut supprimer des courts-circuits électriques en particulier entre une section mobile (électrode mobile) et une couche d'électrode fixe. Le capteur comprend : un substrat comprenant une section d'ancrage (29) et une section mobile (34) qui est supportée par la section d'ancrage à l'aide d'une section élastique entre elles de manière à pouvoir se déplacer dans la direction de hauteur ; une section en vis-à-vis (20) qui fait face au substrat dans la direction de hauteur et fixe/supporte la section d'ancrage, et qui fait face à la section mobile en laissant un écartement entre elles dans la direction de hauteur ; une section saillante (23) dont la surface, conjointement avec la couche d'électrode fixe (28) formée sur la surface de la section en vis-à-vis, est une surface d'arrêt relativement à la section mobile ; une section de support fixe (22) placée à la surface de la section en vis-à-vis ; et une section de jonction (26) comprenant des couches métalliques qui réalisent la jonction entre la section de support fixe et la section d'ancrage. La section saillante (23) fait saillie de la surface de la section en vis-à-vis (20), et la couche d'électrode fixe (28) est disposée au niveau de la surface de la section en vis-à-vis renfoncée. La surface de la section saillante (23) fait saillie dans la direction de hauteur davantage que la surface de la couche d'électrode fixe (28).
(JA)【課題】 特に可動部(可動電極)と固定電極層間の電気ショートを抑制できる物理量センサを提供することを目的としている。 【解決手段】 アンカ部29、及び、アンカ部にばね部を介して高さ方向に変位可能に支持される可動部34を有する基材と、基材と高さ方向に対向しアンカ部を固定支持するとともに可動部と高さ方向に間隔を空けて対向する対向部20と、対向部の表面に形成された固定電極層28及び表面が可動部に対するストッパ面である突起部23と、対向部の表面に設けられた固定支持部22と、固定支持部とアンカ部間を接合する金属層からなる接合部26と、を有して構成される。突起部23は対向部20の表面から突出しており、凹んだ対向部の表面に固定電極層28が配置されており、突起部23の表面は、固定電極層28の表面よりも高さ方向に突出している。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)