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1. (WO2011111441) 微細構造転写方法およびその装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111441    国際出願番号:    PCT/JP2011/052052
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 01.02.2011
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMASHITA Naoaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIRAISHI Toshimitsu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSUSHIMA Koji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AOKI Masashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMASHITA Naoaki; (JP).
SHIRAISHI Toshimitsu; (JP).
TSUSHIMA Koji; (JP).
AOKI Masashi; (JP)
代理人: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
優先権情報:
2010-050631 08.03.2010 JP
2010-262320 25.11.2010 JP
発明の名称: (EN) MICROSTRUCTURE TRANSFER METHOD AND DEVICE FOR SAME
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRANSFERT DE MICROSTRUCTURE
(JA) 微細構造転写方法およびその装置
要約: front page image
(EN)Disclosed are a microstructure transfer method and a device for the same which enable the transfer of a pattern with a high throughput and whilst preventing the inclusion of bubbles, by means of a relatively compact device. In the method for transferring a microstructure, when the rear surface of a body to be transferred, the front surface of which has been coated with a resist, undergoes vacuum-suction, has a stamper adhered thereto, and is pressurised, the inclusion of bubbles between the body to be transferred and the stamper is prevented due to the stamper spherically deforming or bending, thus increasing the adhesive surface from the central section to the peripheral section thereof.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de transfert de microstructure. Plus précisément, l'invention concerne un procédé pour transférer une microstructure, afin de permettre la réalisation du transfert d'un motif à l'aide d'un dispositif de relativement petite dimension, tout en empêchant l'introduction de bulles à un flux élevé. Lorsqu'une matrice est mise en adhésion et sous pression au moyen d'une aspiration par le vide de la face arrière d'un récepteur de transfert revêtu d'une réserve en surface, du fait que la face d'adhésion s'agrandit depuis une partie centrale vers une partie périphérique par transformation ou courbure de la matrice en une forme sphérique, l'introduction de bulles d'air entre le récepteur de transfert et la matrice, est empêchée.
(JA) 微細構造転写方法およびその装置において、比較的コンパクトな装置でかつ高いスループットで泡の入り込みを防止しつつパターンの転写を実現可能にするために、微細構造を転写する方法において、表面にレジストがコーティングされた被転写体に裏面を真空吸引してスタンパを密着、加圧させる際に、スタンパを球面状に変形または湾曲させて密着面を中心部から周辺部に拡大させていくことで被転写体とスタンパとの間に気泡の入り込みを防止するようにした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)