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1. (WO2011111440) 検査方法およびその装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111440    国際出願番号:    PCT/JP2011/052050
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 01.02.2011
IPC:
G01N 21/95 (2006.01), G11B 5/84 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YANAKA Yu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SERIKAWA Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HORIE Kiyotaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUZUKI Ryuta [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YANAKA Yu; (JP).
SERIKAWA Shigeru; (JP).
HORIE Kiyotaka; (JP).
SUZUKI Ryuta; (JP)
代理人: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
優先権情報:
2010-054437 11.03.2010 JP
発明の名称: (EN) INSPECTION METHOD AND DEVICE FOR SAME
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(JA) 検査方法およびその装置
要約: front page image
(EN)In order to rapidly inspect shape defects in the object of inspection that is the minute pattern on a magnetic recording medium formed from patterned media, in the disclosed patterned media defect inspection method detected spectral waveform data is compared with reference-standard spectral reflectance waveform data, which is stored in a database and the pattern-shape of which is known, and defects are detected. The type of the defects is determined on the basis of the disparity, for each detected wavelength, between the spectral waveform data of the detected defects, and the reference-standard spectral reflectance waveform data.
(FR)Pour inspecter rapidement des défauts de forme dans un objet inspecté, c'est-à-dire un motif de très petite dimension sur un support d'enregistrement magnétique formé à partir de supports portant des motifs, dans le procédé d'inspection de défaut de support portant des motifs de l'invention, des données de formes d'ondes spectrales détectées sont comparées à des données de formes d'ondes de réflectance spectrale étalons de référence qui sont stockées dans une base de données et dont la forme des motifs est connue, et des défauts sont détectés. Le type des défauts est déterminé sur la base de la disparité, pour chaque longueur d'onde détectée, entre les données de formes d'ondes spectrales des défauts détectés, et les données de formes d'ondes de réflectance spectrale étalons de référence.
(JA) 被検査対象であるパターンドメディアからなる磁気記録媒体の微細なパターンの形状欠陥を高速で検査できるようにするために、パターンドメディアの欠陥検査方法において、検出された分光波形データをデータベースに記憶しておいたパターン形状が既知の標準試料の分光反射率波形データと比較して、欠陥を検出し、この検出した欠陥の分光波形データと標準試料の分光反射率波形データとの検出波長ごとの差異に基づいて欠陥の種類を判定するようにした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)