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1. (WO2011111209) ターボ分子ポンプ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111209    国際出願番号:    PCT/JP2010/054140
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 11.03.2010
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
出願人: SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAGANO, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHFUJI, Masaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOZAKI, Junichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAGANO, Yoshihiro; (JP).
OHFUJI, Masaki; (JP).
KOZAKI, Junichiro; (JP)
代理人: NAGAI, Fuyuki; c/o NAGAI & ASSOCIATES, Fukoku Seimei Building, 2-2-2, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000011 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) TURBO MOLECULAR PUMP DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE POMPE TURBOMOLÉCULAIRE
(JA) ターボ分子ポンプ装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a turbo molecular pump device having a turbo molecular pump main body, a power source device for driving the turbo molecular pump main body, and a water cooling device provided between the turbo molecular pump main body and the power source device. Components provided within a housing of the power source device are classified into three groups, i.e., components which require intensive cooling, components which require moderate cooling, and components which do not require cooling. The components which require intensive cooling are mounted on a first high heat-transfer substrate which is in contact with a water cooling device. The components which require moderate cooling are mounted on a second high heat-transfer substrate which is in contact with the inner surface of the housing. The components which do not require cooling are mounted on a substrate disposed in a space between the first high heat-transfer substrate and the second high heat-transfer substrate.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de pompe turbomoléculaire qui possède un corps principal de pompe turbomoléculaire, un dispositif de source d'alimentation pour entraîner le corps principal de pompe turbomoléculaire et un dispositif de refroidissement à eau disposé entre le corps principal de pompe turbomoléculaire et le dispositif de source d'alimentation. Des composants disposés à l'intérieur d'un boîtier du dispositif de source d'alimentation sont classés en trois groupes, c'est-à-dire, des composants qui nécessitent un refroidissement intensif, des composants qui nécessitent un refroidissement modéré et des composants qui ne nécessitent pas de refroidissement. Les composants qui nécessitent un refroidissement intensif sont montés sur un premier substrat de transfert de chaleur élevée qui est en contact avec un dispositif de refroidissement à eau. Les composants qui nécessitent un refroidissement modéré sont montés sur un second substrat de transfert de chaleur élevée qui est en contact avec la surface interne du boîtier. Les composants qui ne nécessitent pas de refroidissement sont montés sur un substrat disposé dans un espace entre le premier substrat de transfert de chaleur élevée et le second substrat de transfert de chaleur élevée.
(JA) ターボ分子ポンプ装置は、ターボ分子ポンプ本体と、ターボ分子ポンプ本体を駆動する電源装置と、ターボ分子ポンプ本体と前記電源装置との間に介装される水冷装置とを有し、電源装置の筐体内に設けられる部品は、強冷却が要求される要強冷却部品と、中程度の冷却が供給される要中冷却部品と、殆ど冷却が要求されない冷却不要部品とに分類され、要強冷却部品は、水冷装置に接触する第1高伝熱性基板上に実装され、要中冷却部品は、筐体の内面に接触する第2高伝熱性基板上に実装され、冷却不要部品は、第1の高伝熱性基板と第2の高伝熱性基板の間の空間に配置される基板に実装される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)