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1. (WO2011111136) 異物研磨方法及び異物研磨装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111136    国際出願番号:    PCT/JP2010/006546
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 08.11.2010
IPC:
B24B 21/00 (2006.01), B24B 21/04 (2006.01), B24B 27/033 (2006.01), B24B 49/12 (2006.01)
出願人: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SATOH, Hitoshi; (米国のみ)
発明者: SATOH, Hitoshi;
代理人: MAEDA, Hiroshi; Osaka-Marubeni Bldg., 5-7, Hommachi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5410053 (JP)
優先権情報:
2010-051105 08.03.2010 JP
発明の名称: (EN) FOREIGN BODY POLISHING METHOD AND FOREIGN BODY POLISHING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE POLISSAGE DE CORPS ÉTRANGER ET DISPOSITIF DE POLISSAGE DE CORPS ÉTRANGER
(JA) 異物研磨方法及び異物研磨装置
要約: front page image
(EN)The disclosed foreign body polishing method involves creating information for capturing and correcting defects in the (work) surface of an array substrate (W), selecting a large foreign body (A) larger than a prescribed size from said information, partitioning the region containing the selected large foreign body (A) into multiple polishing areas (a), pressing against each polishing area (a) a polishing head for polishing until said polishing areas reach a prescribed height (h), and automatically moving to the next polishing area (a) for successive polishing and height measurements. Thus, even given large foreign bodies, polishing and correction are performed reliably and product quality is improved.
(FR)Le procédé de polissage de corps étranger selon l'invention consiste à créer des informations pour acquérir et corriger des défauts dans la surface (de travail) d'un substrat de réseau (W), à sélectionner un gros corps étranger (A) plus gros qu'une taille prescrite à partir desdites informations, à diviser la région qui contient le gros corps étranger (A) sélectionné en de multiples zones de polissage (a), à presser contre chaque zone de polissage (a) une tête de polissage afin de polir jusqu'à ce que lesdites zones de polissage aient atteint une hauteur (h) prescrite, et à effectuer automatiquement un déplacement jusqu'à la zone de polissage (a) suivante pour des polissage et mesures de hauteur successifs. Ainsi, même pour de gros corps étrangers, le polissage et la correction sont effectués de manière fiable et la qualité du produit est améliorée.
(JA) アレイ基板W(ワーク)表面の欠陥を捕捉して修正のための情報を作成し、この情報から所定の大きさよりも大きい大型異物Aを選択し、この選択された大型異物Aがある領域を複数の研磨エリアaで分割し、各研磨エリアaで所定高さhになるまで研磨ヘッドで押し付けて研磨を行い、自動で次の研磨エリアaに移って順次研磨を行って高さ測定を行う。これにより、大型異物であっても確実に研磨修正して製品の品質を向上させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)