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1. (WO2011111100) 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2011/111100    国際出願番号:    PCT/JP2010/001714
国際公開日: 15.09.2011 国際出願日: 10.03.2010
IPC:
G05D 3/00 (2006.01), F16C 32/06 (2006.01), G01B 21/00 (2006.01)
出願人: KURODA PRECISION INDUSTRIES LTD. [JP/JP]; 239, Shimohirama, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2128560 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAOI, Kaoru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIZAKI, Yoichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUCHI, Tatsuhito [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SEKIGUCHI, Koichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAOI, Kaoru; (JP).
ISHIZAKI, Yoichi; (JP).
INOUCHI, Tatsuhito; (JP).
SEKIGUCHI, Koichi; (JP)
代理人: OSHIMA, Yoichi; IP Building,2-20,Kanda-Jimbocho, Chiyoda-ku, Tokyo 1010051 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) PARALLEL SLIDER DEVICE OF PNEUMATIC LINEAR GUIDE METHOD, CONTROL METHOD OF SAME, AND MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF À GLISSEMENT PARALLÈLE DE PROCÉDÉ DE GUIDAGE LINÉAIRE PNEUMATIQUE, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CELUI-CI ET DISPOSITIF DE MESURE
(JA) 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a pneumatic linear guide method parallel slider device, a control method of the same, and a measurement device wherein, in a parallel slider device using pneumatic linear guides, when two sliders are mechanically coupled, reduction in reproducibility of parallelism, caused by the mechanical rigidity of the coupling portion of the sliders and the air bearing rigidity of the air slide mechanism mutually affecting each other, is eliminated to ensure highly accurate parallelism reproducibility. By causing the sizes of the air gaps and the supply air pressures to differ between a first pneumatic linear guide (48) and a second pneumatic linear guide (54), a difference is generated in slider support rigidity (air bearing rigidity), thereby causing absorption of the straightness error caused by air gap variation to be performed reliably upon the side with lower air bearing rigidity.
(FR)L'invention porte sur un dispositif à glissement parallèle de procédé de guidage linéaire pneumatique, sur un procédé de commande de celui-ci et sur un dispositif de mesure dans lesquels, dans un dispositif à glissement parallèle utilisant des guides linéaires pneumatiques, lorsque deux glissières sont accouplées mécaniquement, une réduction de reproductibilité de parallélisme, provoquée par la rigidité mécanique de la partie accouplement des glissières et la rigidité du palier à air du mécanisme d'aéroglissière s'affectant mutuellement, est éliminée pour assurer une reproductibilité de parallélisme hautement précise. Par le fait d'amener les dimensions des espaces d'air et les pressions d'air d'alimentation à différer entre un premier guide linéaire pneumatique (48) et un second guide linéaire pneumatique (54), une différence est générée dans une rigidité de support à glissement (rigidité du palier à air), de façon à provoquer ainsi l'absorption de l'erreur de rectitude provoquée par une variation de l'espace d'air devant être réalisée de manière fiable sur le côté avec la rigidité de palier à air inférieure.
(JA)【課題】空気圧リニアガイドによる並列スライダ装置において、二つのスライダを機械的に連結した場合に、スライダの連結部分の機械的剛性とエアスライド機構のエア軸受剛性とが互いに影響を及ぼしあって平行度の再現性が低下することを排除し、高精度な平行度再現性を保証すること。 【解決手段】第1の空気圧リニアガイド(48)と第2の空気圧リニアガイド(54)とでエアギャップの大きさや供給空気圧を相違させることにより、スライダ支持剛性(エア軸受剛性)に差を生じさせ、エアギャップ変化による真値誤差の吸収が、エア軸受剛性が低い側において安定して行われるようにする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)